[发明专利]具有双传动机构的机械手臂

说明书

本发明是关于一种具有双传动机构的机械手臂，主要利用化繁为简的概念，让以往一台需要复杂且精密的传动机构，分成二台传动机构，且各传动机构的齿轮箱的齿轮比相异，如此一来，一台传动机构可主要用于快速带动机械手臂本体进行垂直向移动，另一台传动机构主要用于精准调整，使机械手臂得以精准的移动至默认位置。也由于传动机构的化繁为简，使得每一台齿轮箱的体积得以缩小，进而让机械手臂整体的体积大幅缩小。

技术领域：本发明创作是涉及一种机械手臂，尤指一种具有双传动机构的机械手臂。

背景技术：

请参阅中国台湾专利证书号529058「机械手臂以及将晶圆从第一位置移至第二位置之方法」，所述专利是揭示出：一种晶圆加工系统是利用譬如反应器、装载锁及冷却站等垂直安装的模块而占用最小楼板空间，利用以旋转动作将晶圆载体移入装载锁中的一种装载站来进一步节省楼板空间。晶圆加工系统包括一机械手臂，此机械手臂具有伸长、旋转、垂直动作以取及垂直安装的模块。机械手臂在内部受到冷却且具有一个抗热性端点执行器，可使得机械手臂与高温半导体加工兼容。

所述专利虽有着上述优点，然而，所述专利仍旧存有不足的地方，其原因在于所述专利主要通过「一个Z轴(亦即垂直动作)马达是经由一个皮带机械式耦合至球螺丝并转动球螺丝」，如此带动机械手臂做垂直向移动，使得一台Z轴马达不仅要达到快速带动机械手臂做垂直向移动，同时还要具有精准定位效果，使机械手臂可以准确地达到默认高度位置，如此一来，造成所述Z轴马达需要配合多项零件(如变速箱)才能达到上述效果，这造成整体产生制作成本高、体积大等问题。

发明内容：

有鉴于背景技术所述不足的地方，本发明创作者提供一种解决手段，所述手段是关于一种具有双传动机构的机械手臂，包括：

一第一传动机构：

所述第一传动机构内部设有一第一变速箱，所述第一传动机构的输出端连接一第一承载件，所述第一传动机构可供带动所述第一承载件作垂直向移动。

一第二传动机构：

所述第二传动机构设于所述第一承载件，所述第二传动机构内部设有一第二变速箱，且所述第二传动机构输出端连接一第二承载件，所述第二传动机构可供带动所述第二承载件作垂直向移动；所述第一变速箱的变速比异于所述第二变速箱的变速比。

一机械手臂本体：

所述机械手臂本体设于所述第二承载件。

一控制单元：

所述控制单元分别信息连接所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体，以供分别控制所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体作动。

所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述第一传动机构包括垂直向设置的一第一滑轨，及一第一驱动单元；所述第一承载件为一N型板，包括一第一横板、一第二横板，及一纵板，所述纵板相反二缘边分别连接所述第一横板的一缘边及所述第二横板的一缘边；所述第一驱动单元连接所述第一横板以供所述第一承载件沿所述第一滑轨移动，且所述第二横板及所述纵板位于所述第一滑轨左右其中一侧方；所述第二传动机构包括垂直向设置的一第二滑轨，及一第二驱动单元，所述第二滑轨设于所述第二横板或所述纵板其中之一，所述第二承载件设于所述第二滑轨，所述第二驱动单元连接所述第二承载件，以供带动所述第二承载件沿所述第二滑轨移动。

所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述机械手臂本体设有一高度侦测单元，所述控制单元信息连接所述高度侦测单元，所述控制单元根据所述高度侦测单元的侦测结果，判断是否满足高度默认值，当未满足时则分别控制所述第一传动机构及所述第二传动机构作动直到满足所述高度默认值，并记录控制参数得到一控制数据。

所述具有双传动机构的机械手臂，其中，当超过一默认时间且所述控制单元判断所述高度侦测单元的侦测结果均无法满足所述高度默认值时，则发出一第一警示讯息。