[发明专利]一种过炉载具有效
申请号: | 202110692402.2 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113410166B | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 张杰;朱海峰;张坚强;刘连;张大伟;万杰;夏请;胡廷前 | 申请(专利权)人: | 展讯通信(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 黄海霞 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 炉载具 | ||
1.一种过炉载具,其特征在于,包括:夹具板、载具板和多个弹性伸缩组件;
所述夹具板和所述载具板上设有固定组件,所述固定组件用于连接固定所述夹具板和所述载具板;
所述多个弹性伸缩组件设置在所述夹具板的多个第一镂空区域处;
所述载具板设有多个用于容置带屏蔽罩的电路板的放置槽,且各个所述弹性伸缩组件与各个所述放置槽对应设置,各个所述放置槽与各个所述第一镂空区域对应设置;
所述弹性伸缩组件包括:多个第一弹性伸缩装置和至少一个第二弹性伸缩装置;
多个所述第一弹性伸缩装置对应所述放置槽的拐角设置,所述第二弹性伸缩装置对应所述放置槽的中心区域设置;
所述第二弹性伸缩装与所述多个第一弹性伸缩装置间设有连动杆。
2.根据权利要求1所述的过炉载具,其特征在于,所述固定组件包括:第一固定柱和第一固定孔;
所述第一固定柱设置在所述夹具板上,所述第一固定孔对应所述第一固定柱设置在所述载具板上,且所述第一固定柱和所述第一固定孔过盈配合。
3.根据权利要求1所述的过炉载具,其特征在于,所述固定组件包括:螺栓和螺纹孔;
所述夹具板上设有通孔,所述螺纹孔对应所述通孔设置在所述载具板上,所述螺栓与所述螺纹孔配合设置。
4.根据权利要求1所述的过炉载具,其特征在于,还包括:第二固定柱和第二固定孔;
所述第二固定柱设置在所述夹具板上,所述第二固定孔对应所述第二固定柱设置在所述载具板上,所述第二固定柱的直径不大于所述第二固定孔的直径。
5.根据权利要求1所述的过炉载具,其特征在于,所述第一弹性伸缩装置包括:动杆、定杆和弹簧;
所述定杆固定在所述夹具板上,所述动杆中空设置,且所述动杆滑动设置在所述定杆上,所述弹簧固定在所述动杆内,所述弹簧的两端分别与所述定杆和所述动杆相连。
6.根据权利要求5所述的过炉载具,其特征在于,所述第一弹性伸缩装置和所述第二弹性伸缩装置结构相同。
7.根据权利要求1所述的过炉载具,其特征在于,所述载具板上设有多个第二镂空区域。
8.根据权利要求7所述的过炉载具,其特征在于,所述第二镂空区域内设有肋板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于展讯通信(上海)有限公司,未经展讯通信(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110692402.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造