[发明专利]一种用于TFT模组加工的上料清洗装置有效
申请号: | 202110691261.2 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113319047B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 赵建国;易海兰 | 申请(专利权)人: | 星源电子科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;F26B5/16;H01L21/67 |
代理公司: | 合肥信诚兆佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34159 | 代理人: | 崇鑫 |
地址: | 518132 广东省深圳市光明区玉塘街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 tft 模组 加工 清洗 装置 | ||
1.一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,包括
工作台(2),所述工作台(2)上矩形阵列分布有若干卡孔(12),所述卡孔(12)内设卡接单元、用以卡接TFT基板(5);
清洗机构,所述清洗机构包括若干根水平设于工作台(2)上、下两侧的清洗管(8),所述清洗管(8)沿工作台(2)的宽度方向设置、并与卡孔(12)的列数相同,清洗管(8)的外侧沿其轴向安装有多个喷头,且清洗管(8)的一端设置进液口、并连接外部供液机构;以及
调节机构,所述调节机构与卡孔(12)的列数相同,其用于调节相对设置在工作台(2)上、下两侧的两根清洗管(8),以调整清洗管(8)上喷头的喷液方向;
所述调节机构包括弧形杆(4)、开设在工作台(2)一侧的通孔(11),其中,弧形杆(4)活动穿梭于通孔(11),通孔(11)内设有调节单元、以驱动弧形杆(4)旋转,且弧形杆(4)的两端分别延伸至工作台(2)的上、下两侧,弧形杆(4)的两端分别和对应的清洗管(8)连接;
所述调节单元包括摇臂(9)、转轴一(10),转轴一(10)转动连接于工作台(2),转轴一(10)的一端伸入到通孔(11)内、并和摇臂(9)的一端固定,摇臂(9)的另一端固定于弧形杆(4)。
2.根据权利要求1所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述卡接单元包括开设在卡孔(12)相对两内壁的凹槽一(14)以及凹槽二(21),其中,凹槽一(14)内水平滑动插接有卡块(15),凹槽二(21)内水平滑动插接有卡板(20),凹槽一(14)内设置与卡块(15)连接的弹性件一(13),凹槽二(21)内设置与卡板(20)连接的弹性件二(22), 卡板(20)和卡块(15)用于承接TFT基板(5)的两端,且TFT基板(5)安装后,其连接卡板(20)的一端伸入到对应的凹槽二(21)内。
3.根据权利要求2所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述弹性件一(13)和弹性件二(22)为水平方向伸缩的柱状弹簧,且弹性件二(22)的弹性势能小于弹性件一(13)的弹性势能,卡块(15)的外端开设用于抵接TFT基板(5)的阶梯槽(16),卡板(20)为“L”型板状,在安装TFT基板(5)前,卡板(20)的水平部伸出凹槽二(21),卡块(15)的阶梯槽(16)伸出凹槽一(14)。
4.根据权利要求1所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述清洗管(8)的一端和弧形杆(4)转动连接,而弧形杆(4)的一侧安装有驱动电机二(26),驱动电机二(26)的输出轴与清洗管(8)驱动联接。
5.根据权利要求1所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述转轴一(10)的一端贯穿伸出工作台(2),所述工作台的一侧还设有动力总成;
动力总成包括驱动电机一(23)、传动盘(24)、传动带(25),其中,转轴一(10)的外端均安装有传动盘(24),各个传动盘(24)之间通过传动带(25)传动连接,驱动电机一(23)固定在工作台(2)的一侧、并驱动联接于其中一个传动盘(24)。
6.根据权利要求5所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述卡孔(12)的上、下端口处均安装有用于吸收TFT基板(5)表面水分的吸水机构。
7.根据权利要求6所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述吸水机构包括水平设置在卡孔(12)内的中心杆(18)、套接在中心杆(18)外侧的吸水海绵以及驱动中心杆(18)在卡孔(12)内往复运动的驱动单元。
8.根据权利要求7所述的一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,其特征在于:所述驱动单元包括相对开设在卡孔(12)两端的引导槽(17)以及固定在引导槽(17)内的齿板,引导槽(17)沿卡孔(12)的长度方向设置,中心杆(18)的两端分别伸入到两个引导槽(17)内、并套接齿轮(19),齿轮(19)与引导槽(17)内的齿板啮合传动,驱动单元还包括滑动设置在其中一个引导槽(17)内的引导电机,引导电机的输出轴驱动联接于中心杆(18)。
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