[发明专利]一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用

权利要求书

1.一种光刻胶产酸树脂单体，其特征在于，所述树脂单体的结构为：

其中，R₁为H或者甲基，R₂为C₁-C₁₂的烷烃，L₁、L₂为二价连接键，A₁、A₂、A₃、A₄各自独立的为F、H或者CF₃，且A₁、A₂、A₃、A₄中至少有一个为F或者CF₃。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶产酸树脂单体，其特征在于，所述L₁或L₂选自酯基、碳酸酯基和醚键之一。

3.根据权利要求1或2所述的一种光刻胶产酸树脂单体，其特征在于：所述树脂单体选自以下三种结构之一：

其中，R₁为H或者甲基，R₂为C₁-C₁₂的烷烃，A₁、A₂、A₃、A₄各自独立的为F、H或者CF₃，且A₁、A₂、A₃、A₄中至少有一个为F或者CF₃。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶产酸树脂单体，其特征在于：所述树脂单体选自以下结构：

其中，R₁为H或者甲基，A₁、A₂、A₃、A₄各自独立的为F、H或者CF₃，且A₁、A₂、A₃、A₄中至少有一个为F或者CF₃。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶产酸树脂单体，其特征在于：所述所述树脂单体的具体选自以下结构：

其中，R₁为H或者甲基。

6.一种根据权利要求1至5任一项所述的光刻胶产酸树脂单体的合成方法，其特征在于，合成步骤如下：

其中，R₁为H或者甲基，A₁、A₂、A₃、A₄各自独立的为F、H或者CF₃，且A₁、A₂、A₃、A₄中至少有一个为F或者CF₃；

(1)化合物Ⅰ和2-苯硫基乙醇加入到氯苯中，再加入安息香酸铜，加热搅拌，纯化得到化合物Ⅱ；

(2)化合物Ⅱ加入到二氯甲烷中，再加入三乙胺，并滴加甲基丙烯酰氯或丙烯酰氯的二氯甲烷的溶液，淬灭、纯化得到化合物Ⅲ；

(3)化合物Ⅲ与琥珀酸酐加入到乙醚中，加入六水高氯酸锌，加热回流，纯化得到化合物Ⅳ；

(4)化合物Ⅳ和N,N'-羰基二咪唑加入到氯仿中，加入羟基磺酸钠类化合物，纯化得到树脂单体Ⅴ。