[发明专利]六面电磁屏蔽的倒装芯片封装方法在审
申请号: | 202110686519.X | 申请日: | 2021-06-21 |
公开(公告)号: | CN113410145A | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 林建涛;喻志刚;刘永强 | 申请(专利权)人: | 东莞记忆存储科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/552 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 丁宇龙 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 电磁 屏蔽 倒装 芯片 封装 方法 | ||
本申请涉及一种六面电磁屏蔽的倒装芯片封装方法,所述封装方法包括:在封装基板的A面进行贴装焊接并对所述封装基板的整片A面进行封胶;在所述封装基板的B面进行贴装焊接,在所述封装基板的B面上进行第一次植球,并在第一次植球后对所述封装基板的整片B面进行封胶;在所述封装基板的B面进行研磨减薄以露出第一次植球的锡球剖面;在所述封装基板的B面涂上光刻胶进行曝光显影;在所述封装基板的B面整片进行金属溅镀以形成电磁屏蔽层,并对无需电磁屏蔽的植球区域进行撕膜露出锡球剖面;在所述封装基板的B面的锡球剖面上进行第二次植球。本发明实现整个芯片的6面EMI屏蔽功能,提升了产品整体抗电磁干扰的性能。
技术领域
本发明涉及芯片封装技术领域,特别是涉及一种六面电磁屏蔽的倒装芯片封装方法。
背景技术
EMI(Electromagnetic Interference,电磁干扰)是指电子产品工作会对周边的其他电子产品造成干扰,是电子电器产品经常遇上的问题,具体的干扰种类包括传导干扰和辐射干扰。倒装芯片(Flip-chip)是一种无引脚结构芯片,一般含有电路单元。倒装芯片通常设计用于通过适当数量的位于其面上的锡球(导电性粘合剂所覆盖),在电气上和机械上连接于电路。
在传统技术中,现有EMI芯片封装流程大致有四步,第一步将表面贴装元件和倒装芯片贴装于封装基板表面,第二步对倒装芯片底部进行底部填胶,第三步将倒装芯片和表面贴装元件用非导电树脂黑胶塑封,第四步切单颗后使用金属溅镀工艺在产品表面和四周形成EMI金属屏蔽层达到防电磁干扰屏蔽目的。因此,通过传统工艺的加工方式所得到的芯片封装结构只能实现5个面的电磁屏蔽,当电磁干扰源来源于芯片底部则无法实现有效的抗干扰效果,并不能达到六面电磁屏蔽的效果。
发明内容
基于此,有必要针对上述技术问题,提供一种六面电磁屏蔽的倒装芯片封装方法。
一种六面电磁屏蔽的倒装芯片封装方法,所述封装方法包括:
在封装基板的A面进行贴装焊接并对所述封装基板的整片A面进行封胶;
在所述封装基板的B面进行贴装焊接,在所述封装基板的B面上进行第一次植球,并在第一次植球后对所述封装基板的整片B面进行封胶;
在所述封装基板的B面进行研磨减薄以露出第一次植球的锡球剖面;
在所述封装基板的B面涂上光刻胶进行曝光显影;
在所述封装基板的B面整片进行金属溅镀以形成电磁屏蔽层,并对无需电磁屏蔽的植球区域进行撕膜露出锡球剖面;
在所述封装基板的B面的锡球剖面上进行第二次植球。
在其中一个实施例中,在所述封装基板的B面的锡球剖面上进行第二次植球的步骤之后还包括:
在所述封装基板的A面对需要进行分区屏蔽的地方进行激光钻孔,并进行金属填孔以形成分区屏蔽层。
在其中一个实施例中,在所述封装基板的A面对需要进行分区屏蔽的地方进行激光钻孔,并进行金属填孔以形成分区屏蔽层的步骤之后还包括:
将整片基板切割成单颗,并在所述封装基板的A面表面和四个侧面进行金属溅镀以形成电磁屏蔽层。
在其中一个实施例中,所述在封装基板的A面进行贴装焊接并对所述封装基板的整片A面进行封胶的步骤还包括:
在封装基板的A面进行贴装元件、功能模块及第一倒装芯片的贴装焊接;
对所述第一倒装芯片进行底部填充,并对所述封装基板的整片A面进行封胶。
在其中一个实施例中,所述在所述封装基板的B面进行贴装焊接,在所述封装基板的B面上进行第一次植球,并在第一次植球后对所述封装基板的整片B面进行封胶的步骤还包括:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞记忆存储科技有限公司,未经东莞记忆存储科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110686519.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造