[发明专利]一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法

说明书

本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热，使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式，使热量传递更快，温度控制更精确迅速；同时，本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单，可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置，也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法。

背景技术

在蒸发镀膜设备中，束源炉是其内部重要的组成部分。通常要求在束源炉工作的过程中，温度精确可控，与热真空蒸发沉积的样品之间的距离可调，不会产生杂质气体污染腔体及蒸镀样品。现有的热蒸发束源炉多采用电阻丝或灯管加热坩埚，由于不接触，热源与坩埚之间的热量传递方式仅为热辐射，不利于精确控温。如果加热丝与坩埚接触，则可能导致受热不均匀影响药品的有效使用。另外，现有的热蒸发束源炉为了提高集成度，通常要求使用法兰将整个束源炉固定在真空腔上，导致束源炉在真空腔中的位置和接口要求苛刻，不利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。

发明内容

有鉴于此，本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法，通过填充沙能够使得热量传递更快，温度控制更精确迅速，并且结构设计为可移动，利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：

本发明的一种可移动温控沙浴束源炉，包括束源炉底部支脚、束源炉体、束源炉体盖板、填充沙、真空隔热内胆、加热环、温度探头、耐高温陶瓷板、电极接线柱绝缘陶瓷防护罩、温控仪以及调压器；

其中，所述束源炉体侧面有一处开口，开口处带有卡槽；

真空隔热内胆嵌在束源炉体内，真空隔热内胆与束源炉体接触并在对应的位置同样有开口；

所述耐高温陶瓷板嵌入所述束源炉体开口处卡槽里，一面附着有气凝胶隔热复合材料，另一面铸有椭圆柱状的电极接线柱绝缘陶瓷防护罩；

附着有气凝胶隔热复合材料侧安装有加热环和温度探头；

束源炉体壁顶设有螺纹孔；束源炉体盖板设置在束源炉体顶部，束源炉体盖板中心设有中央通孔，边缘处带有炉体盖板固定通孔；其中，束源炉体盖板中央通孔用于放入坩埚，炉体盖板固定通孔位置与束源炉体壁顶螺纹孔位置和尺寸对应，炉体盖板固定通孔用于螺钉穿过，将所述束源炉体盖板固定到束源炉体壁顶的螺纹孔处；

束源炉体内其余部分通过填充沙填满并支撑固定住温度探头和坩埚，使温度探头和坩埚接触；

束源炉体支脚、束源炉体、真空隔热内胆、加热环、耐高温陶瓷板、电极接线柱绝缘陶瓷防护罩、填充沙、坩埚、温度探头以及束源炉体盖板均放置在真空腔体内进行工作；

温控仪放置在真空腔体外，使用导线通过真空腔体的内外接线柱与真空腔内的加热环和温度探头连接，其中，加热环对应的接线柱通过真空腔的内外引线接线柱外侧与调压器连接再和温控仪连接。

其中，所述束源炉体为耐高温陶瓷铸成的圆柱体。

其中，所述真空隔热内胆为耐高温的玻璃真空密封腔体，形体与束源炉体支脚以上部分相同类似，有开口，但无卡槽，外径小于束源炉体的内径。

其中，所述填充沙为抛光处理后清洗干净的直径为2mm到3mm之间的碳化硅球状颗粒。

其中，所述束源炉体盖板采用耐高温合金材料，分别为对称的两块半圆柱板，总面积与束源炉体顶部一致，均在圆心位置开有半圆形的通孔，两个对称的半圆柱板的通孔组合的截面圆形直径大于坩埚的直径。