[发明专利]一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法

权利要求书

1.一种可移动温控沙浴束源炉，其特征在于，包括束源炉体支脚(1)、束源炉体(3)、束源炉体盖板(6)、填充沙(8)、真空隔热内胆(10)、加热环(11)、温度探头(12)、耐高温陶瓷板(14)、电极接线柱绝缘陶瓷防护罩(16)、温控仪(17)以及调压器(18)；

其中，所述束源炉体(3)侧面有一处开口，开口处带有卡槽(2)；

真空隔热内胆(10)嵌在束源炉体(3)内，真空隔热内胆(10)与束源炉体(3)接触并在对应的位置同样有开口；

所述耐高温陶瓷板(14)嵌入所述束源炉体开口处卡槽(2)里，一面附着有气凝胶隔热复合材料，另一面铸有椭圆柱状的电极接线柱绝缘陶瓷防护罩(16)；

附着有气凝胶隔热复合材料侧安装有加热环(11)和温度探头(12)；

束源炉体(3)壁顶设有螺纹孔(4)；束源炉体盖板(6)设置在束源炉体(3)顶部，束源炉体盖板(6)中心设有中央通孔，边缘处带有炉体盖板固定通孔(5)；其中，束源炉体盖板中央通孔用于放入坩埚(9)，炉体盖板固定通孔(5)位置与束源炉体壁顶螺纹孔位置和尺寸对应，炉体盖板固定通孔(5)用于螺钉穿过，将所述束源炉体盖板(6)固定到束源炉体壁顶的螺纹孔(4)处；

束源炉体内其余部分通过填充沙(8)填满并支撑固定住温度探头(12)和坩埚(9)，使温度探头(12)和坩埚(9)接触；

束源炉体支脚(1)、束源炉体(3)、真空隔热内胆(10)、加热环(11)、耐高温陶瓷板(14)、电极接线柱绝缘陶瓷防护罩(16)、填充沙(8)、坩埚(9)、温度探头(12)以及束源炉体盖板(6)均放置在真空腔体(19)内进行工作；

温控仪(17)放置在真空腔体(19)外，使用导线通过真空腔体的内外接线柱(20)与真空腔内的加热环(11)和温度探头(12)连接，其中，加热环(11)对应的接线柱通过真空腔的内外接线柱(20)外侧与调压器(18)连接再和温控仪(17)连接。

2.如权利要求1所述的可移动温控沙浴束源炉，其特征在于，所述束源炉体(3)为耐高温陶瓷铸成的圆柱体。

3.如权利要求2所述的可移动温控沙浴束源炉，其特征在于，所述真空隔热内胆(10)为耐高温的玻璃真空密封腔体，形体与束源炉体支脚(1)以上部分相同，有开口，但无卡槽，外径小于束源炉体(3)的内径。

4.如权利要求1所述的可移动温控沙浴束源炉，其特征在于，所述填充沙(8)为抛光处理后清洗干净的直径为2mm到3mm之间的碳化硅球状颗粒。

5.如权利要求1-4任意一项所述的可移动温控沙浴束源炉，其特征在于，所述束源炉体盖板(6)采用耐高温合金材料，分别为对称的两块半圆柱板，总面积与束源炉体(3)顶部一致，均在圆心位置开有半圆形的通孔，两个对称的半圆柱板的通孔组合的截面圆形直径大于坩埚(9)的直径。