[发明专利]一种用于高功率激光的真空滤波模块及其制作方法和应用

权利要求书

1.一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，包括入射镜片、第一玻璃管、滤波小孔、第二玻璃管、出射镜片，所述入射镜片连接所述第一玻璃管的一端通光口，所述第一玻璃管的另一端通光口可拆卸连接所述滤波小孔的一面，所述滤波小孔的另一面可拆卸连接所述第二玻璃管的一端通光口，所述第二玻璃管的另一端通光口连接所述出射镜片；所述第一玻璃管和所述第二玻璃管的下侧均设置有通气口。

2.根据权利要求1所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述第一玻璃管的另一端通光口通过金属强力胶水连接所述滤波小孔的一面，所述滤波小孔的另一面通过金属强力胶水连接所述第二玻璃管的一端通光口。

3.根据权利要求1所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述第一玻璃管及所述第二玻璃管均为T字型玻璃管，所述第一玻璃管及所述第二玻璃管的下侧管道口处设有通气口。

4.根据权利要求2所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述入射镜片与所述第一玻璃管的一端通光口的连接处、所述第一玻璃管的另一端通光口与所述滤波小孔的一面的连接处、所述滤波小孔的另一面与所述第二玻璃管的一端通光口的连接处，以及所述第二玻璃管的另一端通光口与所述出射镜片的连接处均使用密封胶进行密封。

5.根据权利要求1所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述滤波小孔为圆片状，所述滤波小孔的中心位置处设有通光小孔。

6.根据权利要求1所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述入射镜片和出射镜片的两侧均镀有增透膜；所述入射镜片和出射镜片的两侧均镀有高透膜的窗口片。

7.根据权利要求1所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述入射镜片和出射镜片均为平面镜。

8.根据权利要求1所述的一种空间滤波器中的真空滤波模块，其特征在于，所述第一玻璃管及所述第二玻璃管内的真空度不少于10^-5Pa。

9.根据权利要求1-8任一所述的真空滤波模块的制作方法，其特征在于，包括步骤如下：

(1)将滤波小孔一面涂上金属强力胶水，第一玻璃管一端通光口与涂有金属强力胶水的滤波小孔的一面粘牢；

(2)将滤波小孔另一面涂上金属强力胶水，第二玻璃管一端通光口与涂有金属强力胶水的滤波小孔的另一面粘牢；

(3)使用密封胶密封滤波小孔两面与第一玻璃管、第二玻璃管的胶粘区域；

(4)使用金属强力胶水将第一玻璃管另一端通光口与入射镜片粘牢，使用金属强力胶水将第二玻璃管另一端通光口与出射镜片粘牢；

(5)使用密封胶密封第一玻璃管与入射镜片、第二玻璃管与出射镜片的胶粘区域；

(6)将第一玻璃管与第二玻璃管的下侧通气口与真空泵相接，对第一玻璃管与第二玻璃管的管内部进行抽真空，并密封第一玻璃管与第二玻璃管的下侧通气口。

10.根据权利要求1-8任一所述的真空滤波模块的应用，真空滤波模块的两端分别为聚焦透镜和准直透镜，其特征在于，是指：光束经过聚焦透镜聚焦，进入真空滤波模块滤波处理，再通过准直透镜进行光束准直。