[发明专利]剥离装置以及硬质基板剥离方法

权利要求书

1.一种剥离装置，其特征在于，所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜，所述过程保护膜包括贴合部和围绕所述贴合部设置的外延部，所述外延部自所述贴合部的边缘延伸至所述硬质基板的边缘外侧；

所述剥离装置包括：

旋转轴；以及

转移台，与所述旋转轴转动连接，所述转移台上设置有可伸缩的多个第一真空吸盘和多个第二真空吸盘，多个所述第一真空吸盘围绕多个所述第二真空吸盘设置；

其中，所述第一真空吸盘用于吸附所述外延部，所述第二真空吸盘用于吸附所述硬质基板。

2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述转移台包括第一抓取部和第二抓取部，所述第一抓取部与所述旋转轴连接，所述第二抓取部与所述第一抓取部连接；

其中，所述第一抓取部为中空的框架，所述第一抓取部围绕所述第二抓取部设置，所述第一真空吸盘设置在所述第一抓取部上，所述第二真空吸盘设置在所述第二抓取部上。

3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，多个所述第一真空吸盘等间距设置在所述第一抓取部上，多个所述第二真空吸盘等间距设置在所述第二抓取部上。

4.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，相邻的所述第一真空吸盘之间的距离小于相邻的所述第二真空吸盘之间的距离。

5.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述第一真空吸盘的吸附面积大于所述第二真空吸盘的吸附面积。

6.一种硬质基板剥离方法，其特征在于，包括：

将柔性显示组件转移至第一剥离平台，所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜，所述过程保护膜包括贴合部和围绕所述贴合部设置的外延部，所述外延部自所述贴合部的边缘延伸至所述硬质基板的边缘外侧；

通过激光剥离工艺将所述硬质基板与所述柔性显示器件分离；

利用如权利要求1至5任一项所述的剥离装置将所述柔性显示组件转移至第二剥离平台，其中，所述第一真空吸盘用于吸附所述外延部，所述第二真空吸盘用于吸附所述硬质基板；

将所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。

7.根据权利要求6所述的硬质基板剥离方法，其特征在于，所述将柔性显示组件转移至第一剥离平台的步骤包括：

调整所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的伸缩长度，使所述第一真空吸盘吸附所述外延部，和/或使所述第二真空吸盘吸附所述硬质基板，以将所述柔性显示组件转移至第一剥离平台；

开启所述第一剥离平台的真空系统，使所述第一剥离平台吸附所述过程保护膜。

8.根据权利要求6所述的硬质基板剥离方法，其特征在于，所述将所述柔性显示组件转移至第二剥离平台的步骤包括：

调整所述第一真空吸盘和所述第二真空吸盘的伸缩长度，使得所述第一真空吸盘吸附所述外延部，或者使得所述第一真空吸盘吸附所述外延部以及所述第二真空吸盘吸附所述硬质基板，以将所述柔性显示组件从所述第一剥离平台转移至第二剥离平台；

开启所述第二剥离平台的真空系统，使所述第二剥离平台吸附所述过程保护膜。

9.根据权利要求6～8任一项所述的硬质基板剥离方法，其特征在于，所述将所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离的步骤包括：

调整所述第一真空吸盘的伸缩长度，使所述第一真空吸盘与所述外延部分离，所述第二真空吸盘继续吸附所述硬质基板；

转动所述旋转轴，由所述转移台的一侧朝另一侧抬升所述转移台，以使所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。

10.根据权利要求9所述的硬质基板剥离方法，其特征在于，所述转动所述旋转轴，由所述转移台的一侧朝另一侧抬升所述转移台，以使所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离的步骤包括：

将所述旋转轴沿第一方向旋转1度至3度，以使所述转移台由所述转移台的一侧朝另一侧转动1度至3度，静置1秒到2秒；

继续将所述旋转轴沿所述第一方向旋转3度至5度，以使所述转移台继续由所述转移台的一侧朝另一侧转动3度至5度，静置1秒到2秒；

垂直抬升所述转移台，直至所述硬质基板从所述柔性显示器件上剥离。