[发明专利]剥离装置以及硬质基板剥离方法

说明书

本申请公开一种剥离装置以及硬质基板剥离方法。柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜。过程保护膜包括贴合部和围绕贴合部设置的外延部，外延部自贴合部的边缘延伸至硬质基板的边缘外侧。转移装置包括旋转轴以及与旋转轴转动连接的转移台。转移台上设置有可伸缩的第一真空吸盘和第二真空吸盘。在剥离硬质基板的过程中，利用转移装置转移硬质基板和柔性衬底已分离的柔性显示组件时，第一真空吸盘吸附过程保护膜的外延部，第二真空吸盘吸附硬质基板，能够避免硬质基板和柔性衬底发生脱落和相对移位，从而提高产品良率。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种剥离装置以及硬质基板剥离方法。

背景技术

近几年，柔性显示(Flexible Display)和可折叠显示(Foldable Display)技术发展迅猛，是国内外高校以及研究所关注的重点，也是显示企业、终端厂商等争相布局的关键技术。目前，柔性显示产品主要是采用S2S(sheet to sheet，片对片)生产工艺，以玻璃等硬质基板为载体，结合柔性衬底贴附取下或玻璃薄化等方法进行制备。其中，贴附取下是先将柔性衬底贴附在硬质基板上制备显示功能层，以形成柔性显示器件，即柔性显示器件包括依次层叠设置在硬质基板上的柔性衬底以及显示功能层，制备完柔性显示器件之后再剥离硬质基板，取出柔性显示器件。这种方法不影响显示器件的制作精度，且制作设备和工艺与制作传统的液晶显示器相仿，不必做太大的调整，因此短期内更接近于量产应用。另一种，玻璃薄化的方式对薄化工艺要求非常高，生产良率有待提高。

其中，贴附取下的工艺常采用激光剥离技术(Laser Lift-Off,LLO)，即利用激光直接作用在柔性衬底与硬质基板的界面处，通过高能激光破坏柔性衬底与硬质基板的结合力，从而使硬质基板和柔性显示器件分离。但是，由于激光扫描后柔性衬底与硬质基板的接触界面碳化产生许多微小颗粒，为了保持LLO工作腔的洁净度，此时不适合将硬质基板剥离。然而，将已分离的柔性显示器件和硬质基板进行转移时，硬质基板和柔性显示器件易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降。

发明内容

本申请提供一种剥离装置以及硬质基板剥离方法，以解决现有技术中将硬质基板和柔性衬底已分离的柔性显示组件进行转移时，硬质基板和柔性衬底易发生脱落或不可控的相对位移，导致产品良率下降的技术问题。

本申请提供一种剥离装置，其在进行剥离工艺过程中，用于转移柔性显示组件，所述柔性显示组件包括依次叠层设置的硬质基板、柔性显示器件以及过程保护膜，所述过程保护膜包括贴合部和围绕所述贴合部设置的外延部，所述外延部自所述贴合部的边缘延伸至所述硬质基板的边缘外侧；

所述剥离装置包括：

旋转轴；以及

转移台，与所述旋转轴转动连接，所述转移台上设置有可伸缩的多个第一真空吸盘和多个第二真空吸盘，多个所述第一真空吸盘围绕多个所述第二真空吸盘设置；

其中，所述第一真空吸盘用于吸附所述外延部，所述第二真空吸盘用于吸附所述硬质基板。

可选的，在本申请一些实施例中，所述转移台包括第一抓取部和第二抓取部，所述第一抓取部与所述旋转轴连接，所述第二抓取部与所述第一抓取部连接；

其中，所述第一抓取部为中空的框架，所述第一抓取部围绕所述第二抓取部设置，所述第一真空吸盘设置在所述第一抓取部上，所述第二真空吸盘设置在所述第二抓取部上。

可选的，在本申请一些实施例中，多个所述第一真空吸盘等间距设置在所述第一抓取部上，多个所述第二真空吸盘等间距设置在所述第二抓取部上。

可选的，在本申请一些实施例中，相邻的所述第一真空吸盘之间的距离小于相邻的所述第二真空吸盘之间的距离。

可选的，在本申请一些实施例中，所述第一真空吸盘的吸附面积大于所述第二真空吸盘的吸附面积。