[发明专利]一种DBC陶瓷板基材的脱色溶液及其脱色方法有效
申请号: | 202110663150.0 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113493352B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 雷雨辰;高静茹 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | C04B41/91 | 分类号: | C04B41/91;C04B41/85;C04B41/82 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 dbc 陶瓷 基材 脱色 溶液 及其 方法 | ||
1.一种DBC陶瓷板基材脱色溶液,其特征在于,包括如下组分,
体积浓度为2%~20%的硫酸;1g/L~5g/L的柠檬酸钠;1g/L~20g/L的氯化钠;体积浓度为1%~10%的氢氟酸;体积浓度为0.5%~2%的三乙醇胺。
2.根据权利要求1所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色溶液,其特征在于,所述硫酸的体积浓度为5%。
3.根据权利要求1所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色溶液,其特征在于,所述柠檬酸钠的浓度为1g/L。
4.根据权利要求1所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色溶液,其特征在于,所述氯化钠的浓度为5g/L。
5.根据权利要求1所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色溶液,其特征在于,所述氢氟酸的体积浓度为3%。
6.根据权利要求1所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色溶液,其特征在于,所述三乙醇胺的体积浓度为1%。
7.一种DBC陶瓷板基材的脱色方法,其特征在于,包括以下步骤,
a:将待处理的DBC陶瓷板按照所设计需要的图形进行蚀刻,露出待处理的基材,暴露出存在黄斑的区域,得到第一陶瓷板;
b:在室温条件下,采用如权利要求1-6任一项所述的脱色溶液对第一陶瓷板存在黄斑的区域进行浸泡或喷淋处理,处理时间大于30min,直至基材黄斑由淡黄色变为淡粉色,得到第二陶瓷板;
c:使用铜面微蚀溶液对第二陶瓷板进行浸泡或喷淋处理,处理时间小于10s,露出白色的基材本色,黄斑脱色完成。
8.根据权利要求7所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色方法,其特征在于,所述的铜面微蚀溶液为硫酸与双氧水的组合溶液或硫酸与过硫酸钠组合溶液。
9.根据权利要求7所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色方法,其特征在于,所述脱色溶液重复使用。
10.根据权利要求9所述的一种DBC陶瓷板基材的脱色方法,其特征在于,所述的脱色溶液重复使用时,其中铜含量不大于0.5g/L。
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