[发明专利]一种载板的定位装置有效
申请号: | 202110660491.2 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113394152B | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 谢建;余玲珑;刘永才 | 申请(专利权)人: | 深圳市创一智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 陈宇;张颖玲 |
地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 定位 装置 | ||
本发明提供一种载板的定位装置,包括传送装置和阻挡装置,传送装置沿第一平面传送载板,多个阻挡装置可设置在预设区域,用于朝向设定方向运动以抵靠载板至少两个相对的边缘,接着阻挡装置沿第一平面相向推动载板以使载板中相邻子载板抵靠在预定位置。本发明实施例中阻挡装置通过朝设定方向运动以抵靠载板的相对边缘,阻挡装置可沿第一平面相向推动边缘处的多个子载板,子载板又推动相邻子载板共同运动,直到所有子载板均与相邻的子载板抵靠,实现载板整体的定位,从而准确确定了各个子载板的位置,降低了硅片取放的难度。
技术领域
本发明属于太阳能电池生产技术领域,更具体地,涉及一种载板的定位装置。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中,通常采用载板来承载硅片,以将硅片作为载体在生产系统的各个部件之间传输,从而实现对硅片的检测、表面蚀刻、丝网印刷等部分加工工艺,最终得到在硅片表面印刷有预设电路的太阳能电池片。
相关的载板是由多个子载板排布而成,并且子载板之间采用非完全固定模式,相邻子载板之间的活动空间较大,硅片的取放难度较高。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种载板的定位装置,以解决如何提高子载板之间的稳定性以降低硅片取放难度的技术问题。
本发明的技术方案是这样实现的:
本发明实施例提供了一种载板的定位装置,所述载板由多个子载板排布而成,所述定位装置包括:
传送装置,用于沿第一平面传送所述载板;
至少两个阻挡装置,设置在所述传送装置的预设区域,用于朝设定方向运动以抵靠所述载板的至少两个相对的边缘;所述阻挡装置在抵靠所述载板的相对边缘的状态下,沿所述第一平面相向推动所述载板,以使相邻所述子载板抵靠在预定位置。
进一步地,所述设定方向与所述第一平面垂直。
进一步地,所述阻挡装置包括在第一方向上间隔预定距离设置的第一阻挡组件和第二阻挡组件,所述预定距离大于或等于所述载板沿第一方向的长度;所述第一阻挡组件和所述第二阻挡组件用于沿所述第一方向相向推动所述载板;其中,所述第一方向为所述载板的传送方向并位于所述第一平面内。
进一步地,所述第一阻挡组件设置在所述传送装置在所述第一方向上的一端,所述第二阻挡组件在所述传送装置在所述第一方向上的中部,所述中部到所述传送装置的第一方向上的两端的距离均大于或等于所述载板沿第一方向的长度。
进一步地,所述阻挡装置还包括在第二方向上间隔预定距离设置的第三阻挡组件和第四阻挡组件,所述预定距离大于或等于所述载板沿第二方向的长度;所述第三阻挡组件和所述第四阻挡组件用于沿所述第二方向相向推动所述载板;所述第二方向垂直所述第一方向并位于所述第一平面内。
进一步地,所述第一阻挡组件、第二阻挡组件、第三阻挡组件和第四阻挡组件均包括以下一种:
翻转定位结构,包括第一推板,所述第一推板在与所述第一平面平行的延伸方向和与所述第一平面相交垂直的延伸方向之间旋转;
平移定位结构,包括第二推板,所述第二推板沿垂直第一平面的方向运动,以与所述第一平面相交或间隔。
进一步地,所述翻转定位结构还包括:
第一支撑件,与所述第一平面间隔设置;
旋转轴,与所述第一支撑件间隔设置并与所述第一推板的一侧可转动的连接,所述旋转轴的长度延伸方向与所述第一方向或第二方向平行;
第一驱动件,固定于所述第一支撑件,所述第一驱动件与所述第一推板的另一侧连接,用于带动所述第一推板绕所述旋转轴进行旋转。
进一步地,所述平移定位结构包括:
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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