[发明专利]一种探针台MAP生成方法及系统在审

专利信息
申请号: 202110659512.9 申请日: 2021-06-15
公开(公告)号: CN113505563A 公开(公告)日: 2021-10-15
发明(设计)人: 苏广峰;姜伟伟 申请(专利权)人: 安测半导体技术(江苏)有限公司
主分类号: G06F30/398 分类号: G06F30/398;G01R31/28
代理公司: 北京文苑专利代理有限公司 11516 代理人: 于利晓
地址: 225000 江苏省扬州市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针 map 生成 方法 系统
【说明书】:

发明提供了一种探针台MAP生成方法及系统,该方法包括:提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息;生成MAP模板,根据测试信息填充MAP模板,生成新MAP;显示新MAP;将新MAP保存为二进制文件。本发明提出一种探针台MAP生产方法及其系统,该方法(系统)能根据测试机(ATE)实时生成的测试数据(datalog、STDF等)提取出坐标x,y、bin别、良品属性pass/fail信息,并经过特定格式转化后,替换MAP模板中的对应字节,最终实现MAP的软件生成,减少了MAP丢失引起的重测或产品报废,极大地节约了成本。

技术领域

本发明属于芯片测试领域,具体而言,涉及一种探针台MAP生成方法及系统。

背景技术

集成电路(芯片)广泛应用于消费电子/安防/工业设备/汽车电子等各行各业。所有的集成电路(芯片)产品在最终组装成产品前,必须要进行严格的测试,确保其具备设计之功能和品质才可以使用。集成电路测试分成封装前的晶圆级测试(Wafer Test)和封装后的成品级测试(Final Test)两部分。集成电路制造具备复杂的多道工艺流程,会带来一定的制造失效(不良品),需要通过晶圆级测试把不良品筛选出来并剔除,封装制程同样工艺复杂,也会带来一定的封装失效(不良品),需要通过成品级测试把不良品筛选出来并剔除。

在晶圆测试工序中,通常由一台测试机(ATE)和一台探针台(Prober)组合成一个测试工作站,测试机(ATE)的PC负责测试程序的执行和结果的反馈,探针台(Prober)接受测试机(ATE)测试结果指令并在其系统及屏幕上生成晶圆测试MAP,全片测试完毕,探针台(Prober)会产生MAP文件并按照预先设定上传指定服务器。

测试MAP通常由探针台生成,为二进制格式文件,不同的探针台厂家格式均不同,透过探针台(Prober)系统可读取并识别出MAP,在MAP图中绿色表示良品,红色表示不良品,但若发生探针台宕机时会造成该MAP丢失,轻则需要全片重测,重则导致产品报废(尤其是OTP(One Time Programmable)一次性编程芯片)。

发明内容

为了解决目前芯片测试过程中,探针台发生宕机时会造成MAP丢失,导致晶圆全片重测或者产品报废的问题,本申请实施例提供了一种探针台 MAP生成方法及系统,实现MAP的软件生成,减少了MAP丢失引起的重测或产品报废,极大地节约了成本。

第一方面,本申请实施例提供了一种探针台MAP生成方法,包括:

提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息;

生成MAP模板,根据所述测试信息填充所述MAP模板,生成新MAP;

显示所述新MAP;

将所述新MAP保存为二进制文件。

其中,所述提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息,包括:

解析所述测试机产生的测试数据,所述测试数据包括datalog、STDF文件;

从解析后的测试数据中,提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin 别。

其中,所述生成MAP模板,根据所述测试信息填充所述MAP模板,生成新MAP,包括:

使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件,所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致,芯片坐标与正常测试一致,初始BIN别全部为0,良品属性全部为fail;所述二进制MAP模板文件包括三部分:

a.头信息:占据第1-236字节,所述头信息包括:操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息;

b.每个芯片的测试结果:每颗芯片占据6个字节长度,保存了坐标xy、良品属性pass/fail和bin别信息,总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*6;

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