[发明专利]一种探针台MAP生成方法及系统在审
申请号: | 202110659512.9 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113505563A | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 苏广峰;姜伟伟 | 申请(专利权)人: | 安测半导体技术(江苏)有限公司 |
主分类号: | G06F30/398 | 分类号: | G06F30/398;G01R31/28 |
代理公司: | 北京文苑专利代理有限公司 11516 | 代理人: | 于利晓 |
地址: | 225000 江苏省扬州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探针 map 生成 方法 系统 | ||
1.一种探针台MAP生成方法,其特征在于,包括:
提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息;
生成MAP模板,根据所述测试信息填充所述MAP模板,生成新MAP;
显示所述新MAP;
将所述新MAP保存为二进制文件。
2.根据权利要求1所述探针台MAP生成方法,其特征在于,所述提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息,包括:
解析所述测试机产生的测试数据,所述测试数据包括datalog、STDF文件;
从解析后的测试数据中,提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin别。
3.根据权利要求2所述探针台MAP生成方法,其特征在于,所述生成MAP模板,根据所述测试信息填充所述MAP模板,生成新MAP,包括:
使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件,所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致,芯片坐标与正常测试一致,初始BIN别全部为0,良品属性全部为fail;所述二进制MAP模板文件包括三部分:
a.头信息:占据第1-236字节,所述头信息包括:操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息;
b.每个芯片的测试结果:每颗芯片占据6个字节长度,保存了坐标xy、良品属性pass/fail和bin别信息,总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*6;
c.每个芯片的行类别:每颗芯片占据8个字节长度,保存了bin别的二进制信息,总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*8;
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性pass/fail、bin别信息按照所述b的格式转换成新的6个字节,替换掉所述MAP模板文件对应位置的6个字节数据,全部芯片替换完成后,第二部分b的所有字节被更新,生成了新MAP。
4.根据权利要求1-3所述探针台MAP生成方法,其特征在于,所述探针台为TSK探针台。
5.根据权利要求2所述探针台MAP生成方法,其特征在于,所述生成MAP模板,根据所述测试信息填充所述MAP模板,生成新MAP,包括:
使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件,所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致,芯片坐标与正常测试一致,初始BIN别全部为0,良品属性全部为fail;所述二进制MAP模板文件包括三部分:
a.头信息:占据第1-66字节,所述头信息包括:操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息;
b.每行的测试结果:结构为X坐标+Y坐标+该行芯片数量+[Bin值+芯片状态]*该行芯片数量,X坐标和Y坐标均占2个字节,该行芯片数量、Bin值和芯片状态均占1个字节;
c.结束信息:占据2个字节,表示结束符号,固定为00,80;
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性pass/fail、bin别信息按照所述b的格式转换成新的字节串,替换掉所述MAP模板文件对应位置的原字节数据,全部芯片替换完成后,第二部分b的所有字节被更新,生成了新MAP。
6.根据权利要求5所述探针台MAP生成方法,其特征在于,所述探针台为TEL探针台。
7.一种探针台MAP生成系统,其特征在于,包括:
提取单元,用于提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息;
生成单元,用于生成MAP模板,根据所述测试信息填充所述MAP模板,生成新MAP;
显示单元,用于显示所述新MAP;
保存单元,用于将所述新MAP保存为二进制文件。
8.根据权利要求7所述探针台MAP生成系统,其特征在于,所述提取单元用于:
解析所述测试机产生的测试数据,所述测试数据包括datalog、STDF文件;
从解析后的测试数据中,提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin别。
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