[发明专利]热电偶引导件及陶瓷加热器

说明书

本发明提供热电偶引导件和陶瓷加热器。本发明的课题是在保持热电偶引导件的刚性的同时使热电偶通路的入口部分的宽度变窄。本发明的热电偶引导件(32)具备：直线状的第一管部(33)；以及第二管部(34)，其与第一管部(33)相连，具有以将第一管部(33)的朝向进行转换的方式设置的弯曲部(34c)。弯曲部(34c)中的至少从前端到预定长度为止的前端侧部分(34b)的外径比第一管部(33)的外径小。

技术领域

本发明涉及热电偶引导件和陶瓷加热器。

背景技术

以往，作为陶瓷加热器，已知有在具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板的内周侧和外周侧分别独立地埋入电阻发热体的、被称为双区加热器的陶瓷加热器。例如在专利文献1中公开了图9所示的带轴的陶瓷加热器410。该带轴的陶瓷加热器410利用外周侧热电偶450测定陶瓷板420的外周侧的温度。热电偶引导件432是筒状部件，在直轴440的内部从下方笔直地向上方延伸后弯曲成圆弧状而进行90°方向转换。该热电偶引导件432安装于在陶瓷板420的背面中由直轴440包围的区域设置的狭缝426a。狭缝426a构成热电偶通路426的入口部分。外周侧热电偶450插入热电偶引导件432的筒内并到达热电偶通路426的末端位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/039453号小册子(图11)

发明内容

发明所要解决的课题

然而，热电偶引导件432通过将1根筒状构件弯曲成圆弧状来形成直线管部432a和弯曲管部432b，因此存在以下的问题。即，若使弯曲管部432b变细，则直线管部432a也变细，因此产生热电偶引导件432的刚性不足这样的问题。另一方面，若使直线管部432a变粗，则弯曲管部432b也变粗，因此产生不得不增大狭缝426a的宽度这样的问题。

本发明是为了解决这样的课题而完成的，其主要目的在于，在保持热电偶引导件的刚性的同时使热电偶通路的入口部分的宽度变窄。

用于解决课题的方法

本发明的热电偶引导件具备：

直线状的第一管部；以及

第二管部，其与上述第一管部相连，具有以将上述第一管部的朝向进行转换的方式设置的弯曲部，

上述弯曲部中的至少从前端到预定长度为止的前端侧部分的外径比上述第一管部的外径小。

该热电偶引导件如以下那样使用。即，在内置有电阻发热体的板的热电偶通路的入口部分配置热电偶引导件的前端侧部分，使细长的热电偶穿过热电偶引导件的直线状的第一管部和具有弯曲部的第二管部，将热电偶引导至热电偶通路。该热电偶引导件中，第二管部所具有的弯曲部中的至少从前端到预定长度为止的前端侧部分的外径比第一管部的外径小。该前端侧部分是配置于热电偶通路的部分，其外径比第一管部的外径小，因此能够减小热电偶通路的入口部分的宽度。另外，热电偶引导件的第一管部的外径比前端侧部分的外径大。因此，能够将第一管部的刚性保持得比较高。

在本发明的热电偶引导件中，上述第二管部也可以焊接于上述第一管部。这样一来，只要预先分别准备第二管部和第一管部，并将两者焊接，就能够得到本发明的热电偶引导件。

在本发明的热电偶引导件中，也可以使上述弯曲部中的至少上述前端侧部分的内径比上述第一管部的内径小。这样一来，与前端侧部分的内径与第一管部的内径相同的情况相比，能够使前端侧部分的外径进一步比第一管部的外径小。另外，在将前端侧部分的外径设为预定值的情况下，由于前端侧部分的内径小而相应地前端侧部分的壁厚变厚，因此能够提高前端侧部分的刚性。