[发明专利]热电偶引导件及陶瓷加热器

权利要求书

1.一种热电偶引导件，具备：

直线状的第一管部；以及

第二管部，其与所述第一管部相连，具有以将所述第一管部的朝向进行转换的方式设置的弯曲部，

所述弯曲部中的至少从前端到预定长度为止的前端侧部分的外径比所述第一管部的外径小。

2.根据权利要求1所述的热电偶引导件，所述第二管部焊接于所述第一管部。

3.根据权利要求1或2所述的热电偶引导件，所述弯曲部中的至少所述前端侧部分的内径比所述第一管部的内径小。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的热电偶引导件，所述第二管部的整体的外径比所述第一管部的外径小。

5.根据权利要求4所述的热电偶引导件，所述第二管部的整体的内径比所述第一管部的内径小。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的热电偶引导件，

所述弯曲部的曲率半径为20mm以上且50mm以下，

所述弯曲部的行程长度为20mm以上且50mm以下，

所述弯曲部以将所述第一管部的朝向转换为50°以上且90°以下的方式设置。

7.一种陶瓷加热器，具备：

具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板，

与所述陶瓷板中的与所述晶片载置面相反侧的背面接合的筒状轴，

埋设于所述陶瓷板的内周部的内周侧电阻发热体，

埋设于所述陶瓷板的外周部的外周侧电阻发热体，

包括所述内周侧电阻发热体的一对端子及所述外周侧电阻发热体的一对端子的附带部件，

从所述陶瓷板的所述背面中的所述筒状轴的内侧区域的起点到达所述陶瓷板的外周部的末端位置为止的长孔，

作为所述长孔的入口部分的长槽，以及

所述弯曲部的所述前端侧部分被配置在所述长槽中的权利要求1～6中任一项所述的热电偶引导件。

8.根据权利要求7所述的陶瓷加热器，所述长孔是用于插入热电偶的热电偶插入用长孔。

9.根据权利要求7或8所述的陶瓷加热器，所述长槽的长度设定为所述热电偶引导件的所述弯曲部中配置于所述长槽的所述前端侧部分的长度以上。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的陶瓷加热器，具备插入到所述热电偶引导件和所述长孔中的热电偶。