[发明专利]热电偶引导件及陶瓷加热器

说明书

本发明提供热电偶引导件及陶瓷加热器。本发明的课题是减小热电偶通路的入口部分的宽度。本发明的热电偶引导件(32)具备：直线管部(33)；以及弯曲管部(34)，其与直线管部(33)相连，以对直线管部(33)的朝向进行转换的方式设置。弯曲管部(34)中的包含前端(34e)在内的预定的前端侧部分(34a)的截面的外形形状是将圆的两侧直线状地切掉而成的形状。

技术领域

本发明涉及热电偶引导件和陶瓷加热器。

背景技术

以往，作为陶瓷加热器，已知有在具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板的内周侧和外周侧分别独立地埋入电阻发热体的、被称为双区加热器的陶瓷加热器。例如在专利文献1中公开了图10所示的带轴的陶瓷加热器410。该带轴的陶瓷加热器410利用外周侧热电偶450测定陶瓷板420的外周侧的温度。热电偶引导件432是筒状部件，在直轴440的内部从下方笔直地向上方延伸后弯曲成圆弧状而进行90°方向转换。该热电偶引导件432安装于在陶瓷板420的背面中的由直轴440包围的区域设置的狭缝426a。狭缝426a构成热电偶通路426的入口部分。外周侧热电偶450插入热电偶引导件432的筒内并到达热电偶通路426的末端位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/039453号小册子(图11)

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在陶瓷加热器410中，为了安装热电偶引导件432，必须在陶瓷板上形成宽度为热电偶引导件432的外径以上的狭缝426a。因此，期望减小狭缝的宽度。

本发明是为了解决这样的课题而完成的，其主要目的在于减小热电偶通路的入口部分的宽度。

用于解决课题的方法

本发明的热电偶引导件具备：

直线管部；以及

弯曲管部，其与所述直线管部相连，以对所述直线管部的朝向进行转换的方式设置，

所述弯曲管部中的包含前端在内的预定的前端侧部分的截面的外形形状是将圆的两侧直线状地切掉而成的形状。

该热电偶引导件如以下那样使用。即，在内置有电阻发热体的板的热电偶通路入口部分配置热电偶引导件的前端部分，使细长的热电偶穿过直线管部和弯曲管部，将热电偶引导至热电偶通路。该热电偶引导件中，弯曲管部的包含前端在内的预定的前端侧部分的截面的外形形状是将圆的两侧直线状地切掉而成的形状。即，热电偶引导件的前端侧部分比直线管部细。因此，能够减小热电偶通路的入口部分的宽度。

在本发明的热电偶引导件中，所述前端侧部分的截面的外形形状也可以是将圆用彼此相对的2根平行且长度相同的弦切掉而成的形状。这样一来，在前端侧部分，能够在孔的两侧使热电偶引导件的壁厚相等。

在本发明的热电偶引导件中，所述热电偶引导件也可以是无缝管。这样一来，不需要焊接多个管。

在本发明的热电偶引导件中，所述直线管部中的包含基端在内的预定的基端侧部分的孔也可以是朝向所述基端逐渐扩大的锥面。这样一来，容易将热电偶插入热电偶引导件。

在本发明的热电偶引导件中，所述弯曲管部的曲率半径可以设为15mm以上且50mm以下，所述弯曲管部的行程长度可以设为15mm以上且50mm以下，所述弯曲管部将所述直线管部的朝向进行转换的角度也可以设为50°以上且90°以下。

本发明的陶瓷加热器具备：

具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板，

与所述陶瓷板中的与所述晶片载置面相反侧的背面接合的筒状轴，

埋设于所述陶瓷板的内周部的内周侧电阻发热体，