[发明专利]热电偶引导件及陶瓷加热器

权利要求书

1.一种热电偶引导件，具备：

直线管部；以及

弯曲管部，其与所述直线管部相连，以对所述直线管部的朝向进行转换的方式设置，

所述弯曲管部中的包含前端在内的预定的前端侧部分的截面的外形形状是将圆的两侧直线状地切掉而成的形状。

2.根据权利要求1所述的热电偶引导件，所述前端侧部分的截面的外形形状是将圆用2根平行且长度相同的弦切掉而成的形状。

3.根据权利要求1或2所述的热电偶引导件，所述热电偶引导件是无缝管。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的热电偶引导件，

所述弯曲管部的曲率半径为15mm以上且50mm以下，

所述弯曲管部的行程长度为15mm以上且50mm以下，

所述弯曲管部将所述直线管部的朝向进行转换的角度为50°以上且90°以下。

5.一种陶瓷加热器，具备：

具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板，

与所述陶瓷板中的与所述晶片载置面相反侧的背面接合的筒状轴，

埋设于所述陶瓷板的内周部的内周侧电阻发热体，

埋设于所述陶瓷板的外周部的外周侧电阻发热体，

包括所述内周侧电阻发热体的一对端子及所述外周侧电阻发热体的一对端子的附带部件，

从所述陶瓷板的所述背面中的所述筒状轴的内侧区域的起点到达所述陶瓷板的外周部的末端位置为止的长孔，

作为所述长孔的入口部分的长槽，以及

所述弯曲管部的所述前端侧被部分配置在所述长槽中的权利要求1～4中任一项所述的热电偶引导件。

6.根据权利要求5所述的陶瓷加热器，所述长槽的长度设定为所述弯曲管部的所述前端侧部分的长度以上。

7.根据权利要求5或6所述的陶瓷加热器，所述弯曲管部的所述前端侧部分嵌入所述长槽中。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的陶瓷加热器，具备插入到所述热电偶引导件和所述长孔中的热电偶。