[发明专利]一种带位置检测功能的晶圆传输机械手

权利要求书

1.一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，包括底座、和底座滑动连接的用以支撑晶圆的手指、用以驱动手指在底座上运动的驱动装置、若干组和底座固接的对射传感器、用以移动底座的机械臂；

所述对射传感器的组数量至少组，所述对射传感器处于一个虚拟圆上，所述虚拟圆的半径和晶圆的半径适配；

所述手指包括和底座滑动连接的滑块、和滑块固接的呈C字形的指部、位于指部内侧的若干用以给晶圆限位的限位块、和限位块固接的用以支撑晶圆下侧的支撑板；

对于标准尺寸的晶圆，其半径标准，限位块均抵靠在晶圆的边缘处，将该晶圆的圆心相对手指的位置命名为真圆心；

上述机械手使用时，将晶圆放在手指上，晶圆位于限位块之间，支撑板抵靠在晶圆下侧，若晶圆的半径有误差，则限位块和晶圆之间有间隙，将该晶圆的圆心相对手指的位置命名为假圆心；驱动装置运行，晶圆运动到对射传感器对应位置，对射传感器分为发射端和接收端，此时，接收端和发射端位于晶圆相对两侧，发射端发出激光，晶圆的边缘遮挡部分激光，根据接收端的接收到的激光强度即可计算得到假圆心和真圆心之间的水平位移量，然后驱动装置运行，晶圆离开对射传感器，机械臂移动晶圆时补足水平位移量，从而使得晶圆放置精度高。

2.根据权利要求1所述的一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，所述手指的数量为两个，两侧手指上下布置，两个手指的滑块滑动连接在底座的相对两侧。

3.根据权利要求1所述的一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，所述驱动装置包括和底座转动连接的皮带、用以转动皮带的伺服电机；

所述滑块和皮带连接。

4.根据权利要求1所述的一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，所述对射传感器的组数为四组。

5.根据权利要求4所述的一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，将四组对射传感器分为两批，每批两组，两批对射传感器位于底座相对两侧，两批对射传感器呈环形阵列布置。

6.根据权利要求1所述的一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，所述限位块的数量为四个。

7.根据权利要求1所述的一种带位置检测功能的晶圆传输机械手，其特征在于，所述底座在对射传感器对应位置固接有呈C字形的支架，所述支架的下端和底座固接，接收端和发射端位于支架的两端。