[发明专利]碳纳米管器件及其使用方法

权利要求书

1.一种碳纳米管器件，其特征在于，包括：

一导电基底，所述导电基底包括一头部及一长柄，所述头部定义一通孔；以及

一碳纳米管阵列，设置于所述通孔周围的头部的表面，该碳纳米管阵列包括多个基本垂直于头部表面的碳纳米管。

2.如权利要求1所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述头部和长柄的材料为相同的导电材料。

3.如权利要求1所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述头部的表面为方形、圆形、椭圆形或者三角形。

4.如权利要求1所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述导电基底整体为一长条状结构，导电基底的一端为碳纳米管器件的头部，另一端为碳纳米管器件的长柄。

5.如权利要求1中所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述通孔用于使扫描电子显微镜发出的电子束通过该通孔打在待观测样品上。

6.如权利要求1中所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述通孔的孔径为1微米～100微米。

7.如权利要求1中所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述碳纳米管阵列通过导电胶固定于头部的表面。

8.如权利要求1中所述的碳纳米管器件，其特征在于，所述碳纳米管阵列中的碳纳米管用于与扫描电镜的待观测样品接触。

9.一种应用于扫描电镜中的碳纳米管器件，其包括一导电基底及一碳纳米管阵列，所述导电基底包括一头部及一长柄，所述头部定义一通孔，该通孔周围的端部表面设置一碳纳米管阵列，该碳纳米管阵列包括多个基本垂直于头部表面的碳纳米管，所述通孔用于使扫描电子显微镜发出的电子束穿过，所述碳纳米管阵列与样品表面接触。

10.如权利要求1-9中任意一种碳纳米管器件的使用方法，其包括以下步骤：

提供所述碳纳米管器件，该碳纳米管器件包括一碳纳米管阵列及一通孔；

提供一待观测的扫描电镜样品，将该样品置于扫描电镜的观测区域；

将所述碳纳米管器件固定于一机械臂上，移动机械臂的位置，使碳纳米管器件中的碳纳米管阵列与样品接触；以及

打开扫描电镜，使扫描电镜的电子束通过所述通孔打在样品上，对样品进行拍照。