[发明专利]一种深孔抛光装置及抛光方法

权利要求书

1.一种深孔抛光装置，其特征在于，所述装置用于对回转光学元器件上的深孔进行抛光，深孔抛光装置包括工件自转装置(4)、工件往复移动装置(1)、抛光工具旋转装置(2)以及抛光液循环装置(3)；所述的工件往复移动装置(1)设于工件自转装置(4)的侧面，其移动方向平行于工件深孔轴线，其中，工件自转装置(4)固定在工件往复移动装置(1)上，工件(25)沿工件自转装置(4)的轴线穿过固定连接在工件自转装置(4)的转盘(20)上；所述的抛光工具旋转装置(2)用于夹持抛光刷(22)两端，带动抛光刷(22)做回转运动；抛光液循环装置(3)设于整体装置侧面，实现抛光过程中的抛光液循环作用；

所述工件自转装置(4)包括转台夹具(7)、中空旋转转台(23)、转盘(20)、法兰导向轴支座(21)、XY轴中空微调平台(24)；所述转台夹具(7)用于固定中空旋转转台(23)并通过转接板(8)与工件往复移动装置(1)固接，其中，中空旋转转台(23)上设有转盘(20)，转盘(20)通过电机相对中空旋转转台(23)做回转运动，转盘(20)上固定XY轴中空微调平台(24)，XY轴中空微调平台(24)台面上固定法兰导向轴支座(21)，工件(25)沿法兰导向轴支座(21)的轴线穿过并紧固在一起，通过中空旋转转台(23)上转盘(20)的转动带动工件(25)的自转，通过对XY轴中空微调平台(24)进行XY方向的微调确保工件(25)的抛光孔中心为自转中心，保证工件(25)围绕抛光孔(26)轴线回转运动的情况下同时能够沿其轴线方向往复运动；

所述工件往复移动装置(1)包括移动模组(14)、XZ轴微调平台(9)、转接板(8)；所述移动模组(14)上连接XZ轴微调平台(9)，XZ轴微调平台(9)的z轴台面上固定转接板(8)，转接板(8)通过与工件自转装置(4)上的转台夹具(7)固定连接，实现移动模组(14)带动工件(25)的往复运动；

所述抛光工具旋转装置(2)包括抛光刷(22)、电主轴a(6)、电主轴b(11)、XYZ轴微调平台a(16)、XYZ轴微调平台b(12)、电主轴夹具a(5)、电主轴夹具b(10)；所述抛光刷(22)设置为圆柱状，抛光刷(22)沿工件(25)上抛光孔(26)的轴线平行穿过，抛光刷(22)两端分别与电主轴a(6)、电主轴b(11)的夹头固定，实现抛光刷(22)的旋转运动，抛光刷(22)可通过XYZ轴微调平台b(12)和XYZ轴微调平台a(16)对抛光工具旋转装置(2)进行XYZ方向微调，从而调整抛光刷(22)的位置；所述电主轴a(6)和电主轴b(11)分别用电主轴夹具a(5)、电主轴夹具b(10)固定，电主轴夹具a(5)和电主轴夹具b(10)分别固定在XYZ轴微调平台a(16)和XYZ轴微调平台b(12)上，通过同步调节XYZ轴微调平台a(16)和XYZ轴微调平台b(12)可以调整抛光刷(22)的中心线与抛光孔(26)的轴心线之间的偏心程度，从而控制抛光刷(22)对抛光孔(26)的管壁的压力大小；

所述的抛光液循环装置(3)包括抛光液上密封盘(13)、抛光液盒(15)、蠕动泵(17)；所述抛光液上密封盘(13)沿工件(25)轴线设在工件(25)的上端面，用于滴入抛光液；所述抛光液盒(15)设在工件(25)下端面底部，用于收集抛光液；通过蠕动泵(17)将抛光液注入抛光液上密封盘(13)，注入抛光液的量应保证工件(25)的抛光孔(26)端面浸入到抛光液中，并通过蠕动泵(17)实现抛光液的循环使用；

上述装置均布置在光学平板(27)上。

2.根据权利要求1所述的一种深孔抛光装置，其特征在于，所述的上述深孔抛光装置增设两个抛光刷夹持盘后，可同时对工件上多个深孔进行抛光加工；所述的抛光刷夹持盘包括圆盘(28)、轴承(29)、轴(30)、带杆大齿轮(31)、小齿轮(32)；所述圆盘(28)与电主轴夹具固定连接，圆盘(28)中心设有用于穿过轴承(29)的通孔，沿通孔周向设置轴(30)；所述带杆大齿轮(31)通过轴承(29)与电主轴夹头相连，小齿轮(32)内含轴承套在轴(30)上，小齿轮(32)沿带杆大齿轮(31)周向布置；所述小齿轮(32)与多个抛光刷(22)固定连接；电主轴回转运动带动带杆大齿轮(31)自转，带杆大齿轮(31)通过啮合运动带动小齿轮(32)自转，进而带动抛光刷(22)旋转运动，实现对多孔工件的多个内孔同时进行抛光运动。