[发明专利]一种晶圆抓取装置及控制方法

权利要求书

1.一种晶圆抓取装置，包括盒体(1)和吸附端，所述吸附端设置于所述盒体(1)一侧，所述盒体(1)底部设置有控制器，其特征在于：所述吸附端包括吸附机构(2)，所述吸附机构(2)包括若干个负压凹槽(21)，

弹性联动组件(3)，设置在所述负压凹槽(21)内部，用于检测负压凹槽(21)内压力是否充足；

触发机构，设置在所述负压凹槽(21)内腔底部，与所述弹性联动组件(3)配合使用；

通风管道(4)，所述通风管道(4)共有两组，所述通风管道(4)与所述负压凹槽(21)底部连接，每个所述通风管道(4)另一端设置有进风机构(5)，所述进风机构(5)用于所述吸附机构(2)提供动力；

进气转换阀(6)，设置在通风管道(4)靠近所述进风机构(5)的一端，用于转换所述通风管道(4)与所述进风机构(5)之间的连通方式；

进气控制阀(7)，设置在所述进气转换阀(6)的另一端，用于调节通风管道(4)内的风速。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述吸附机构(2)中部设置有环形开口(22)，所述负压凹槽(21)分布在所述环形开口(22)周侧，所述吸附机构(2)还包括出风口(23)，所述出风口(23)位于所述负压凹槽(21)端部，且所述出风口(23)延伸于所述盒体(1)上方。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述弹性联动组件(3)包括弹性连杆(31)，所述弹性连杆(31)底部与所述触发机构连接，所述弹性连杆(31)端部设置有悬浮件(32)，所述悬浮件(32)在弹性连杆(31)作用下悬在所述触发机构上方，且位于所述负压凹槽(21)内腔上部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述悬浮件(32)包括联动杆(33)，所述联动杆(33)上方设置有联动片(34)，所述联动片(34)位于所述出风口(23)端部，使得产生一定负压后，联动片(34)带动联动杆(33)与所述触发机构接触。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述通风管道(4)包括主线管道(41)，所述主线管道(41)延伸于所述吸附机构(2)中部，所述主线管道(41)端部分别设置有与所述负压凹槽(21)连接的支线管道(42)，每个所述支线管道(42)长度相等，所述主线管道(41)另一端与所述进风机构(5)连接，所述进风机构(5)包括进风接头(51)，所述进风接头(51)端部延伸于所述盒体(1)外侧。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述进气转换阀(6)包括阀体(61)，所述阀体(61)中部开设有换气凹槽(62)，所述换气凹槽(62)两侧分别设置有进气接口和出气接口，所述进气接口和出气接口分别连接有两个所述主线管道(41)，所述换气凹槽(62)内设置有开闭板(63)，所述开闭板(63)靠近所述进气接口一端通过驱动轴(64)与所述换气凹槽(62)连接，所述换气凹槽(62)正对所述驱动轴(64)位置和两侧均设置有限位开关(65)，所述开闭板(63)上开设有与所述限位开关(65)相对应的限位凹槽，驱动轴(64)可由驱动装置带动进行转动。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述进气控制阀(7)包括空气流量调节阀(71)，所述进气控制阀(7)设置在所述进气转换阀(6)的出气接口一侧，所述空气流量调节阀(71)分别与所述主线管道(41)连接。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取装置，其特征在于：所述进风机构(5)和进气转换阀(6)具有两种模式，双口进气模式，通过两个进风机构(5)连接两个通风管道(4)并与吸附机构(2)连接，使得抓取装置正常运作时，拥有两个动力源；单口进气模式，在其中一个动力源出现故障后，通过进气转换阀(6)更换关闭一个进风机构(5)连接的通风管道(4)，使得所述吸附机构(2)由一个进风机构(5)提供动力源，使得抓取装置可以短时间内持续工作。

9.一种根据权利要求8所述的晶圆抓取装置的控制方法，其特征在于：所述抓取装置远离吸附机构(2)的一端与机械臂连接，控制抓取装置对晶圆片进行吸附抓取；

所述晶圆抓取装置抓取晶圆时执行步骤：

S1吸附机构(2)对晶圆片进行吸附抓取；

S2所述抓取装置在机械臂控制下，将晶圆片送至指定区域；

S3当一侧进风机构(5)出现故障时，负压凹槽(21)中的弹性联动组件(3)与触发机构断开，控制器控制进气转换阀(6)对抓取装置的吸附动力源由双口进气模式更改为单口进气模式，继续完成晶圆片的抓取。