[发明专利]一种微型器件转移装置及转移方法

权利要求书

1.一种微型器件转移装置，其特征在于，包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件；

所述供给基板与所述转移头之间设有柔性安装层，所述柔性安装层固定设置在所述供给基板的一侧面上，所述若干列转移头设在所述柔性安装层远离所述供给基板的侧面上。

2.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述供给基板与第一侧面相对向的侧面为第二侧面，所述第二侧面为与所述第一侧面弯曲方向相同的曲面；和/或，所述曲面为弧形曲面。

3.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述控制模块用于控制所述若干列转移头以列为单位依次释放微型器件。

4.如权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移头为静电转移头或磁场转移头或者范德华力转移头。

5.如权利要求4所述的转移装置，其特征在于，所述静电转移头包括第一介电层、第二介电层、第一电极和第二电极，所述供给基板的一侧面设有相间隔的第一凸起和第二凸起，所述第一介电层固定在所述第一凸起上，所述第二介电层固定在所述第二凸起上，所述第一电极设在所述第一介电层上，所述第二电极设在所述第二介电层上；

和/或，所述控制模块为继电器。

6.如权利要求4所述的转移装置，其特征在于，所述磁场转移头包括磁芯以及缠绕在磁芯上的线圈，所述磁芯固定在所述供给基板的一侧面上；

和/或，所述控制模块为继电器。

7.一种基于权利要求1至6任一所述转移装置的转移方法，其特征在于，包括以下步骤：

利用控制模块控制若干列转移头吸附微型器件；

将吸附有微型器件的若干列转移头向接收基板移动并靠近接收基板，直至位于首列转移头上的微型器件与接收基板相接触；

通过控制模块控制首列转移头释放微型器件落在接收基板上；

转动供给基板，使得位于次列转移头上的微型器件与接收基板相接触，通过控制模块控制次列转移头释放微型器件，次列转移头上的微型器件落在接收基板上，如此循环重复该步骤直至将若干列转移头上的微型器件都转移在接收基板上。

8.如权利要求7所述的转移方法，其特征在于，当若干列转移头中的其中一列转移头上的微型器件与接收基板相接触时，其余列转移头上的微型器件与接收基板不接触。

9.如权利要求7所述的转移方法，其特征在于，所述曲面为弧形曲面，在转动供给基板时：以供给基板的弧形截面的圆心为轴心转动供给基板。