[发明专利]一种旋转靶材的绑定密封结构

说明书

本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在金属片外的紧固层，金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。该旋转靶材的绑定密封结构对多节靶管之间的间隙进行密封处理，减少间隙内的氧含量，使得金属铟在绑定过程中不容易在空气中氧化，提升铟与靶材/背管的贴合率。两节靶管外壁的高温胶带外还粘接了导热金属片，然后才在金属片外设置紧固层，该金属片为绑定密封结构提供支撑，以免靶管受热变型导致密封失效，增强了密封性能。

技术领域

本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定密封结构。

背景技术

近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子控制器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，而旋转靶材溅射使用率可达到80％，旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕在固定的磁控溅射设备上旋转，可360度均匀刻蚀靶面，这样均匀的使用让靶材表面光滑，减少“结瘤”现象的产生，提升镀膜均匀性，提高靶材的利用率，从而降低镀膜成本，因此旋转靶材是未来发展的一大趋势。

在旋转靶材的制备工艺中，对于无法用喷涂浇筑方式生产的陶瓷靶材和某些金属靶材，需用绑定贴合法(绑定)将需要溅射的靶材与背管绑定。目前绑定方法大多是将直径较大的外管靶材套在直径相对较小的背管上，用金属铟或导电胶等具有良好导电导热性能的焊料填充两者的间隙，将外管靶材和背管焊接。用金属铟绑定的方法需要将铟加热并维持在熔点以上的状态时注入，金属铟容易在空气中氧化，使得铟与靶材/背管的贴合率低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种旋转靶材的绑定密封结构，其能提升绑定环节中铟与靶材/背管的贴合率。

提供一种旋转靶材的绑定密封结构，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，所述间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在所述金属片外的紧固层，所述金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。

优选地，所述间隙垫片是沿径向开口的卡环状的特氟龙垫片。

优选地，靶管之间的间隙为0.2～0.4mm，所述间隙垫片的厚度为0.3～0.8mm。

优选地，所述特氟龙垫片通过粘接在上下两面的高温双面胶分别连接到两节靶管的底部端面和顶部端面。

优选地，所述高温胶带的上下侧分别涂布有热固胶。

优选地，所述热固胶涂布的高度低于金属片的高度。

优选地，所述金属片是铝片。

优选地，所述紧固层是绕在金属片外围的一圈橡胶片，所述橡胶片的高度高于金属片。

优选地，包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述相邻的环状加热罩之间通过垫圈密封，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部。

优选地，包括插在背管内的环状定位管，所述环状定位管顶部的出风口处设有用于挡住该出风口的密封件，密封件的中心轴处往上伸出有出风管，出风管能下移封住密封件。