[发明专利]一种旋转靶材的绑定密封结构

权利要求书

1.旋转靶材的绑定密封结构，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，其特征是，密封结构包括设在相邻两节靶管之间的间隙垫片，所述间隙垫片粘接上下两个靶管的端面，两节靶管外壁在该间隙处粘接一圈高温胶带，还包括粘接在高温胶带外周的导热金属片和围在所述金属片外的紧固层，所述金属片和紧固层一起通过卡箍固定在靶管外周。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述间隙垫片是沿径向开口的卡环状的特氟龙垫片。

3.根据权利要求2所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述间隙垫片的厚度为0.3～0.8mm。

4.根据权利要求2所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述特氟龙垫片通过粘接在上下两面的高温双面胶分别连接到两节靶管的底部端面和顶部端面。

5.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述高温胶带的上下侧分别涂布有热固胶。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述热固胶涂布的高度低于金属片的高度。

7.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述金属片是铝片。

8.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，所述紧固层是绕在金属片外围的一圈橡胶片，所述橡胶片的高度高于金属片。

9.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，包括罩在旋转靶材外周的外加热结构，外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述相邻的环状加热罩之间通过垫圈密封，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部。

10.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定密封结构，其特征是，包括插在背管内的环状定位管，所述环状定位管顶部的出风口处设有用于挡住该出风口的密封件，密封件的中心轴处往上伸出有出风管，出风管能下移封住密封件。