[发明专利]旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质

说明书

本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于预设差值范围内，如此则待绑定的靶管内外温度保持一致，减少外管靶材崩裂的几率。

技术领域

本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置，利用该绑定加热装置实现的旋转靶材的绑定加热方法以及计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储在绑定加热装置中，绑定加热装置处理器执行计算机可读存储介质中的计算机程序时实现绑定加热的方法。

背景技术

近年来，采用溅射法制备的薄膜材料因其高致密度、优良附着性等优点，受到平面显示器、电子处理器、玻璃镀膜、光学薄膜等行业的青睐。随着上述领域的高速发展，溅射靶材的需求量急剧增加。根据溅射面的形状，靶材通常可分为平面靶材，旋转靶材和异型靶材。平面靶材溅射使用可达到30％～40％，而旋转靶材溅射使用率可达到80％，旋转靶材呈空心圆管状，能够围绕在固定的磁控溅射设备上旋转，可360度均匀刻蚀靶面，这样均匀的使用让靶材表面光滑，减少“结瘤”现象的产生，提升镀膜均匀性，提高靶材的利用率，从而降低镀膜成本，因此旋转靶材是未来发展的一大趋势。

在旋转靶材的制备工艺中，对于无法用喷涂浇筑方式生产的陶瓷靶材和某些金属靶材，需用绑定贴合法(绑定)将需要溅射的靶材与背管绑定。目前绑定方法大多是将直径较大的外管靶材套在直径相对较小的背管上，用金属铟或导电胶等具有良好导电导热性能的焊料填充两者的间隙，将外管靶材和背管焊接。用金属铟绑定的方法需要将铟加热并维持在熔点以上的状态时注入，因此在绑定过程中的温度控制极为重要，一旦加热温度控制失误，就有可能造成背管膨胀进而导致外管靶材崩裂。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：提供一种简化的绑定加热设备，其能减少靶材崩裂风险。

提供一种旋转靶材的绑定加热装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，该绑定加热装置包括内加热结构和外加热结构；所述内加热结构包括供待绑定背管套装在其管壁外的环状定位管，环状定位管底部为进风口，顶部为出风口；所述外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部；所述内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作以使背管内外温度处于预设差值范围内。

优选地，所述环状定位管以中心轴竖置的方式竖向固定在所述安装底座上。

优选地，包括设在环状定位管外壁的背管温度检测装置。

优选地，所述环状定位管外壁和/或所述加热罩内部设有螺旋向上的导流叶片。

优选地，所述加热罩开有高温可视操作窗口。

优选地，所述安装底座上还固定有绑定材料进料装置，所述绑定材料进料装置自侧面开口进料而从顶部开口出料，在背管安装在环状定位管外、靶管套设在背管外的状态下，所述顶部开口对准靶管与背管之间的间隙；所述绑定材料进料装置的侧面开口还连接有送风装置。

优选地，所述绑定材料进料装置的外壁绕设有加热管。

优选地，所述绑定材料进料装置的中心设有密封的通槽，有进风管从该通槽内向上伸入环状定位管内。

优选地，相邻两节靶管之间的间隙设有间隙垫片。