[发明专利]旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质

权利要求书

1.旋转靶材的绑定加热装置，旋转靶材包括背管和多节环状靶管，其特征是，该绑定加热装置包括内加热结构和外加热结构；所述内加热结构包括供待绑定背管套装在其管壁外的环状定位管，环状定位管底部为进风口，顶部为出风口；所述外加热结构包括多节环状加热罩和分别安装在各节加热罩内壁的加热管，以及用于固定最下层环状加热罩的安装底座，所述外加热结构还包括密封盖，所述密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部；所述内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作以使背管内外温度处于预设差值范围内。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述环状定位管以中心轴竖置的方式竖向固定在所述安装底座上。

3.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，包括设在环状定位管外壁的背管温度检测装置。

4.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述环状定位管外壁和/或所述加热罩内部设有螺旋向上的导流叶片。

5.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述加热罩开有高温可视操作窗口。

6.根据权利要求1所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述安装底座上还固定有绑定材料进料装置，所述绑定材料进料装置自侧面开口进料而从顶部开口出料，在背管安装在环状定位管外、靶管套设在背管外的状态下，所述顶部开口对准靶管与背管之间的间隙；所述绑定材料进料装置的侧面开口还连接有送风装置。

7.根据权利要求6所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述绑定材料进料装置的外壁绕设有加热管。

8.根据权利要求6所述的旋转靶材的绑定加热装置，其特征是，所述绑定材料进料装置的中心设有密封的通槽，有进风管从该通槽内向上伸入环状定位管内。

9.旋转靶材的绑定加热方法，其通过加热装置对靶管和背管进行加热，其特征是，加热装置如权利要求1～8中任一项所述，分别控制内加热结构和外加热结构的温度以使背管内外温度处于预设差值范围内。

10.计算机可读存储介质，其存储有计算机程序，其特征是，旋转靶材的绑定加热装置包括处理器，所述计算机程序被处理器执行时能够实现权利要求9所述的旋转靶材的绑定加热方法。