[发明专利]一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法

说明书

本发明适用太阳能电池加工技术领域，提供了一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法，包括以下步骤：将硅片进行制绒、扩散、刻蚀、镀介质膜，以制得镀膜硅片；将镀膜硅片在预设温度下进行红外激光照射钝化处理；将激光照射钝化处理后的镀膜硅片进行丝网印刷、烧结，得到成品PERC太阳能电池。本发明提供的一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法通过在镀膜硅片丝网印刷之前进行红外激光照射钝化处理，可以降低介质膜的氢参与电池片光热衰减或电致衰减，有效提高PERC太阳能电池的可靠性，且提高PERC太阳能电池的转换效率及光利用率，同时可以避免对PERC太阳能电池的金属化结构产生影响，从而提升电池性能。

技术领域

本发明涉及太阳能电池加工技术领域，具体涉及一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法。

背景技术

随着晶硅太阳能电池技术的发展，晶硅太阳能电池的可靠性越受关注。目前PERC太阳能电池是光伏行业的主流产品，但是不管掺镓还是掺硼的PERC太阳能电池，电致衰减都表现比较严重，其电致衰减的主要机理为氢致缺陷及金属杂质衰减，行业内主要以光致再生技术(LIR)进行处理，通过激发介质膜(氮化硅、氧化硅或氧化铝)中的氢进行钝化缺陷，同时消耗氢源，以降低氢致缺陷的机率。

现有技术中，PERC太阳能电池的加工工艺通常是通过将硅片进行制绒、扩散、刻蚀、镀介质膜、丝网印刷、烧结步骤，得到成品PERC电池，再通过光源再生炉对成品PERC电池的介质膜进行钝化处理。由于光源再生炉通常由一定波长的LED灯阵列组成，虽然在一定温度下能够钝化PERC电池片，但是由于LED灯光照辐射较为发散，对PERC电池片的介质膜钝化效果差；而且，成品PERC电池再经加热进行光照钝化处理，会对成品PERC电池金属化结构(金属电极栅线)产生影响，从而影响电池性能。

发明内容

本发明提供一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法，旨在解决现有技术中存在采用LED灯对PERC太阳能电池钝化效果差，且成品PERC电池经加热进行光照钝化处理，会对成品PERC电池金属化结构产生影响，从而影响电池性能的问题。

本发明是这样实现的，提供一种激光钝化处理的太阳能电池加工方法，包括：

将硅片进行制绒、扩散、刻蚀、镀介质膜，以制得镀膜硅片；

将镀膜硅片在预设温度下进行红外激光照射钝化处理；

对钝化处理后的镀膜硅片进行丝网印刷、烧结，得到成品PERC太阳能电池。

优选的，所述将镀膜硅片在预设温度下进行红外激光照射钝化处理步骤之后还包括：

将红外激光照射钝化处理后的镀膜硅片进行快速冷却。

优选的，所述预设温度为200～350℃。

优选的，所述红外激光的辐射强度为20～60kw/m2。

优选的，所述红外激光照射钝化处理的时间为5～20S。

优选的，所述红外激光的光源波长为900～1100nm。

优选的，所述介质膜至少包括SiOx膜、SiNOx膜、SiNx膜中的任意一种或多种。

优选的，所述镀膜硅片通过激光钝化工艺平台进行红外激光照射钝化处理；所述激光钝化工艺平台包括用于放置硅片的放置台面、用于对所述放置台面进行加热的加热装置、以及红外激光照射灯。

优选的，所述激光钝化工艺平台还包括用于对红外激光照射钝化处理后的镀膜硅片进行冷却的风冷装置。

优选的，所述激光钝化工艺平台还包括设于所述放置台面、用于对所述放置台面进行冷却的水冷装置。