[发明专利]捕集装置和基板处理装置

权利要求书

1.一种捕集装置，具有：

筒状的壳体，其具有供经由排气管排出的排出气体流通的流路；

板状的第一捕集构件，其以在从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时遮蔽所述流路的中央部的方式配置于所述壳体内；以及

板状的第二捕集构件，其以在沿着所述壳体的中心轴的方向上与所述第一捕集构件隔开间隔的方式配置于所述壳体内，所述第二捕集构件在与所述第一捕集构件对应的位置具有开口。

2.根据权利要求1所述的捕集装置，其特征在于，

所述第二捕集构件的开口具有在从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时比所述第一捕集构件的尺寸小的开口宽度。

3.根据权利要求2所述的捕集装置，其特征在于，

所述第一捕集构件在当从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时与所述第二捕集构件的包围所述开口的区域重叠的区域具有多个开口。

4.根据权利要求3所述的捕集装置，其特征在于，

所述第二捕集构件在当从沿着所述壳体的中心轴的方向观察时与所述第一捕集构件重叠的区域以不与所述第一捕集构件的所述多个开口重叠的方式具有多个开口。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的捕集装置，其特征在于，

具有多个所述第一捕集构件和多个所述第二捕集构件，

多个所述第一捕集构件和多个所述第二捕集构件在沿着所述壳体的中心轴的方向上交替地配置。

6.一种基板处理装置，具有：

处理容器，其用于进行基板处理；

排气装置，其从所述处理容器排出包含通过所述基板处理产生的副产物的气体；

排气管，其将所述处理容器与所述排气装置连接；以及

捕集装置，其设置于所述排气管，所述捕集装置用于捕获从所述处理容器经由所述排气管排出的排出气体中包含的副产物，

其中，所述捕集装置具有：

筒状的壳体，其具有供经由所述排气管排出的排出气体流通的流路；

板状的第一捕集构件，其以在沿着所述壳体的中心轴的方向观察时遮蔽所述流路的中央部的方式配置于所述壳体内；以及

板状的第二捕集构件，其以在沿着所述壳体的中心轴的方向上与所述第一捕集构件隔开间隔的方式配置于所述壳体内，所述第二捕集构件在与所述第一捕集构件对应的位置具有开口。