[发明专利]遮罩、遮罩的制造方法及用于制造遮罩的母模

说明书

本发明公开了一种遮罩，包括第一面、第二面与多个通孔。第二面相对于第一面，而第二面具有多个外凸曲面。这些通孔连通第一面与第二面，其中各个通孔具有外凸壁面，其连接于第一面与第二面之间。

技术领域

本发明是有关于一种遮罩、遮罩的制造方法及用于制造遮罩的母模，且特别是有关于一种采用电铸(electroforming)所制成的遮罩及其制造方法，以及用于制造此遮罩的母模。

背景技术

现今有的显示面板已使用精细金属遮罩(Fine Metal Mask，FMM)来制造。以有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示面板为例，目前有的有机发光二极管显示面板是采用蒸镀(evaporation)来制造。在蒸镀的过程中，精细金属遮罩会先放置在玻璃板上，并且紧邻或紧靠玻璃板，以使蒸镀产生的镀料能依照精细金属遮罩的开口图案而沉积在开口图案所暴露的玻璃板上。

现有精细金属遮罩具有彼此相对的上表面与下表面以及多个从上表面延伸至下表面的开口，其中这些开口形成开口图案。各个开口的孔壁通常实质上垂直于上表面与下表面。因此，在进行蒸镀期间，从蒸镀源而来的镀料能沿着玻璃板法线而移动至玻璃板，从而沉积在开口图案所暴露的玻璃板上。

然而，由于各个开口的孔壁实质上垂直于上表面与下表面，因此其他不沿着玻璃板法线而朝向玻璃板移动的镀料很多会被开口周边的部分精细金属遮罩所阻挡，以至于沉积物难以完全覆盖开口图案在玻璃板上所暴露的区域，造成有机发光二极管显示面板发生像素缺色或像素颜色失真等问题，导致良率下降。

发明内容

本发明至少一实施例提供一种遮罩，其具有外凸曲面与外凸壁面，以帮助不沿着法线而移动的镀料也能顺利地沉积在被镀基板(例如玻璃板)上。

本发明至少一实施例还提供上述遮罩的制造方法以及用于制造此遮罩的母模。

本发明至少一实施例所提供的遮罩包括第一面、第二面与多个通孔。第二面相对于第一面，而第二面具有多个外凸曲面。这些通孔连通第一面与第二面，其中各个通孔具有外凸壁面，其连接于第一面与第二面之间。

在本发明至少一实施例中，各个外凸壁面不垂直于第一面。

在本发明至少一实施例中，上述第二面的各个外凸曲面的曲率半径大于各个通孔的外凸壁面的曲率半径。

在本发明至少一实施例中，上述遮罩还包括多个凸块。这些凸块分别形成于这些外凸曲面上，其中各个凸块凸出于外凸曲面。

在本发明至少一实施例中，上述遮罩的材料包括镍与铁，其中遮罩的镍重量百分比介于35至50％间，而遮罩的铁重量百分比介于50至65％间。

本发明至少一实施例所提供的母模，其用于制造上述遮罩，其中母模是由导电基板所制成，并包括第一平面、第二平面与凹刻图案。第二平面相对于第一平面。凹刻图案显露于第一平面，其中凹刻图案对应遮罩。凹刻图案具有多个凹洞，而各个凹洞具有内凹曲面。

在本发明至少一实施例中，各个凹洞的深度小于第一平面与第二平面之间的厚度。

在本发明至少一实施例中，上述导电基板的材料为不锈钢。

在本发明至少一实施例所提供的遮罩的制造方法中，首先，在导电基板上形成第一光阻层，其中导电基板具有第一平面与相对第一平面的第二平面，而第一光阻层局部覆盖第一平面。接着，以第一光阻层为遮罩，从未被第一光阻层覆盖的部分第一平面蚀刻导电基板，以形成具有多个凹洞的母模。接着，对母模进行电铸，以在各个凹洞内沉积金属材料。在对母模进行电铸之后，移除母模。