[发明专利]一种利用机械臂的等离子装置

说明书

本发明公开了一种利用机械臂的等离子装置，包括方形装置框架，其上面一层右侧处的等离子体处理空腔内部设置等离子体喷枪与机械臂辅助处理装置。采用机械臂带动离子体喷枪在等离子处理空腔内运动；喷枪距离检测单元安装于机械臂表面用于采集等离子体喷枪喷头处与被处理的表面的距离，并将采集的数据通过其对应的线路传输至CPU；其上面一层的左侧为控制开关柜；控制开关柜中设置机械臂控制面板、等离子体处理装置控制面板、机械臂控制电路、等离子体处理装置控制电路、气源供应开关以及无线传输装置；CPU通过无线传输装置实现与控制平台通讯相连；装置框架的中间层放置等离子电源发生器。本等离子装置操作简便、可控性强、处理成本低。

技术领域

本发明涉及等离子体处理技术领域，具体涉及一种利用机械臂的等离子装置。

背景技术

等离子体是一种高能量的物质聚集态，其中含有大量的电子、离子、激发态的原子、分子、光子和自由基等活性粒子。利用等离子体对材料进行处理可引起材料表面的物理变化（如刻蚀、解吸、溅射、注入、激发和电离等）和化学变化（如氧化、分解、交联、聚合和接枝等），以达到改变材料表面特性（包括亲水性、疏水性、粘合性、阻燃性、防腐性、防静电性以及生物适应性）的目的。近年来，等离子体表面改性技术在医用材料改性上的应用已成为等离子体技术的一个研究热点。低温等离子处理分为等离子体聚合和等离子体表面处理。等离子体聚合是利用放电把有机类气态单体等离子化，使其产生各类活性物质，由这些活性物质之间或活性物质与单体之问进行加成反应形成聚合膜。而等离子体表面处理是利用非聚合性无机气体(Ar2、N2、H2、O2等)的等离子体进行表面反应，通过表面反应在表面引入特定官能团，产生表面侵蚀，形成交联结构层或生成表面自由基，在经等离子体活化而成的表面自由基位置，能进一步反应产生特定官能团，如氢过氧化物。较为普遍的是在高分子材料表面导人含氧官能团。如-OH、-OOH等。还有人在材料表面引入了胺基。在材料表面生成自由基或引入官能团后，就可与其他高分子单体反应进行接枝(即材料表面形成的自由基或官能团引发单体分子与之发生作用)或聚合，或直接在材料表面固定生物活性分子。在低温等离子中由于存在离子和自由电子、自由基，其提供了常规化学反应器中所没有的化学反应条件，既能使原气体中的分子分解，又可以使许多有机物单体产生聚合反应。

随着离子体处理技术的发展，对等离子体进行表面反应的要求不断提升，待处理的表面范围越来越广泛，表面的结构越来越复杂，引入了机械臂对等离子体枪进行控制，能够实现不同形状表面的等离子处理，并且能够保证处理的质量与速度。

发明内容

1.所要解决的技术问题：

针对上述技术问题，本发明提供一种利用机械臂的等离子装置，解决等离子体枪进行表面处理时，由于表面的不在同一平面、结构不单一而产生的等离子表面反应不完全的问题。

2.技术方案：