[发明专利]一种利用机械臂的等离子装置

权利要求书

1.一种利用机械臂的等离子装置，包括方形装置框架；所述装置框架内设置等离子电源发生器、等离子处理装置、机械臂辅助处理装置、气源供应装置；其特征在于：所述装置框架分为上中下；最上面一层右侧处为等离子体处理空腔；等离子处理空腔的底部为等离子体处理平台；等离子处理装置包括等离子体喷枪；所述机械臂辅助处理装置包括机械臂、机械臂固定装置以及喷枪距离检测单元；所述机械臂能够带动离子体喷枪在等离子处理空腔内运动；所述等离子体处理平台表面设置机械臂固定装置；所述机械臂为可六轴姿态全方位运动的机器臂，一端固定等离子体喷枪带动等离子体喷枪移动；另一端固定安装于等离子体处理平台表面，其内部安装机械臂的运动控制单元；所述喷枪距离检测单元安装于机械臂表面用于采集等离子体喷枪喷头处与被处理的表面的距离，并将采集的数据通过其对应的线路传输至CPU；最上面一层的左侧为控制开关柜；控制开关柜中设置机械臂控制面板、等离子体处理装置控制面板、机械臂控制电路、等离子体处理装置控制电路、气源供应开关以及无线传输装置；其中机械臂控制面板通过对应的线路与机械臂控制电路相连、等离子体处理装置控制面板通过对应的线路与等离子体处理装置控制电路相连、气源供应开关通过对应的线路与控制气源供应通断的电磁阀相连；所述机械臂控制电路、等离子体处理装置控制电路、气源供应开关均与CPU相连；CPU通过无线传输装置实现与控制平台通讯相连；装置框架的中间层放置等离子电源发生器；所述等离子电源发生器与等离子体喷枪相连实现为等离子体喷枪提供等离子流；所述气源供应装置与等离子体喷枪管道相连为等离子体喷枪提供相应的高压气体。

2.根据权利要求1所述的一种利用机械臂的等离子装置，其特征在于：所述控制开关柜的机械臂控制面板、等离子体处理装置控制面板均为触屏操控面板，均安装于控制开关柜的正面；控制开关柜的打开门装置设置于装置框架的侧壁；所述控制开关柜的反面设置通风孔；所述控制开关柜内部设置控制开关柜的散热风扇。

3.根据权利要求1所述的一种利用机械臂的等离子装置，其特征在于：所述等离子电源发生器为差分激励电源；所述等离子体喷枪为差分激励等离子体喷枪。

4.根据权利要求1所述的一种利用机械臂的等离子装置，其特征在于：所述喷枪距离检测单元为红外线测距仪 ；所述红外线测距仪通过发射红外线采集需要处理的表面与等离子体喷枪喷头的距离；需要处理的表面到喷枪喷头的距离为6-12mm。

5.根据权利要求1所述的一种利用机械臂的等离子装置，其特征在于：所述气源供应装置包括氧气、惰性气体中的一种气体气源供应装置。

6.根据权利要求1所述的一种利用机械臂的等离子装置，其特征在于：所述等离子体喷枪为旋转式射流低温等离子体喷枪，其离子和电子的能量达到6-10eV，其喷射出的低温等离子体流为中性。

7.根据权利要求1所述的一种利用机械臂的等离子装置，其特征在于：位于等离子体处理空腔的上部，装置框架的顶端设置通风孔；所述通风孔与外设的吸尘装置相连实现排放等离子体处理空腔的氮化物与粉尘。