[发明专利]一种真空机台快速复机方法

说明书

本申请实施例提供一种真空机台快速复机方法，涉及太阳能电池生产技术领域。真空机台快速复机方法用于使真空机台的腔室内的真空值达到P0，温度达到T0，包括以下步骤：S1、清理真空机台的腔室内的积水；S2、使腔室内的真空值降低至P1，P1＞P0，使腔室内的温度升温至T1，T1＞T0；S3、使腔室的真空值进一步降低至P0，使腔室内的温度降温至T0。该真空机台快速复机方法能够缩短复机时间，满足快速复机需求，提高真空机台的稼动率。

技术领域

本申请涉及太阳能电池生产技术领域，具体而言，涉及一种真空机台快速复机方法。

背景技术

在太阳能电池生产过程中，通常会用到PVD真空机台，镀膜的PVD(Physical VaporDeposition，物理气相沉积)设备、真空机台在工作时，真空机台的腔室内需要达到一定的真空度和温度；在对真空机台进行保养、换靶、异常停机等后，需要对真空机台进行复机处理，使真空机台的腔室内恢复到预设的真空度和温度。

随着太阳能技术的不断进步，在太阳能电池生产过程中，对真空机台的稼动率要求也越来越高，需要尽可能缩短复机时间，以提高真空机台的稼动率。同时，对真空机台的真空度的要求也越来越高，但真空度越高、真空度数值越小，复机难度会越大，复机时间也就越长。目前的复机方式是分别使真空机台的腔室内达到预设的真空值和预设的温度，一般是先直接对真空机台的所有腔室抽真空，直至腔室内的真空度达到预设真空值；再对腔室内进行加热直至达到预设温度。这种复机方式所需的复机时间较长，无法满足快速复机需求。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种真空机台快速复机方法，能够缩短复机时间，满足快速复机需求，提高真空机台的稼动率。

第一方面，本申请实施例提供了一种真空机台快速复机方法，用于使真空机台的腔室内的真空值达到P0，温度达到T0，其包括以下步骤：

S1、清理真空机台的腔室内的积水；

S2、使腔室内的真空值降低至P1，P1＞P0，使腔室内的温度升温至T1，T1＞T0；

S3、使腔室的真空值进一步降低至P0，使腔室内的温度降温至T0。

在上述技术方案中，先清理真空机台的腔室内的积水，减少腔室内的水，从而减少腔室内的水形成的水汽对真空值降低的影响，腔室内的真空值更容易降低；然后快速使腔室内的真空值降低和温度升温至一定程度，在该过程中，腔室内较高的温度能够使真空值更容易降低，真空值降低也能够使温度更容易升温；接着使腔室内的真空值进一步降低至目标值，使腔室内的温度降温至目标值，完成复机，由于腔室内温度已经升温至最高值，因此容易使腔室内的真空值进一步降低。该复机方法能够缩短复机时间，满足快速复机需求，提高真空机台的稼动率。

在一种可能的实现方式中，真空机台的腔室包括预热腔室、加热腔室、预降温腔室和冷却腔室；

在步骤S1中，清理加热腔室内的积水；

在步骤S2和步骤S3中，使所有的腔室内的真空值降低，使加热腔室内的温度升温或降温。

在上述技术方案中，加热腔室为工作腔室，清理加热腔室内的积水，就能够将腔室内的大部分水量除去；所有腔室的真空值需要达到目标值，因此对所有腔室内的真空值进行调控；只有加热腔室内的温度需要达到目标值，因此仅对加热腔室内的温度进行调控。

在一种可能的实现方式中，T1＝200℃-380℃，T0＝100℃-180℃。

在一种可能的实现方式中，P1＝1.0·10^-3mbar-1.0·10^-5mbar，P0＜1.0·10^-5mbar。

在一种可能的实现方式中，在步骤S2中，采用真空泵抽真空使腔室内的真空值降低；