[发明专利]一种真空机台快速复机方法在审
| 申请号： | 202110574718.1 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113345979A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王海光;占建;胡广豹;章伟冠;苏世杰;王秀鹏 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(成都)有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 吕露 |
| 地址： | 610000 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 机台 快速 复机 方法 | ||
1.一种真空机台快速复机方法，用于使所述真空机台的腔室内的真空值达到P0，温度达到T0，其特征在于，其包括以下步骤：
S1、清理所述真空机台的腔室内的积水；
S2、使所述腔室内的真空值降低至P1，P1＞P0，使所述腔室内的温度升温至T1，T1＞T0；
S3、使所述腔室的真空值进一步降低至P0，使所述腔室内的温度降温至T0。
2.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，所述真空机台的腔室包括预热腔室、加热腔室、预降温腔室和冷却腔室；
在步骤S1中，清理所述加热腔室内的积水；
在步骤S2和步骤S3中，使所有的所述腔室内的真空值降低，使所述加热腔室内的温度升温或降温。
3.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，T1＝200℃-380℃，T0＝100℃-180℃。
4.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，P1＝1.0·10-3mbar-1.0·10-5mbar，P0＜1.0·10-5mbar。
5.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，在步骤S2中，采用真空泵抽真空使所述腔室内的真空值降低；
和/或，在步骤S3中，采用冷泵或加装冷井的真空泵使所述腔室的真空值进一步降低。
6.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，在步骤S2，采用真空机台自身的升温机构使所述腔室内的温度升温。
7.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，在步骤S3中，通过往所述腔室内输送常温的载具使所述腔室内的温度降温。
8.根据权利要求7所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，所述降温的方法为：往所述腔室内连续输送常温的载具以吸收热量，再输出所述腔室，直至温度降温至T0，停止输送载具。
9.根据权利要求7所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，所述载具的输送速度为4m/min-40m/min。
10.根据权利要求1所述的真空机台快速复机方法，其特征在于，在步骤S3中，先使真空值降低至P0，再进行降温处理；待降温至T0，确认真空值是否大于P0，如果真空值大于P0，则降低真空值至P0。
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