[发明专利]一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法

权利要求书

1.一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，包含如下步骤：

S1：配制标准原液及对标准原液稀释不同倍数后得到的原液稀释液；

S2：利用紫外分光光度法对步骤S1配制得到的标准原液及对标准原液稀释不同倍数后的原液稀释液进行过氧化氢含量的检测，得到标准工作曲线；

S3：将待测蚀刻液与酸化试剂按体积比为1：0.5~1.5的比例混合，搅拌均匀，得到混合液；

S4：将步骤S3得到的混合液依次用水、步骤S1配制得到的标准原液稀释，得到待测稀释液；

S5：利用紫外分光光度法对步骤S4配制得到的待测稀释液进行过氧化氢含量的检测，再根据步骤S2得到的标准工作曲线换算出待测蚀刻液中过氧化氢的含量；

步骤S3所得混合液的pH在2~4之间；

所述标准原液中含有10~50wt.%过氧化氢，1~8wt.%四甲基氢氧化铵、1~8wt.%硫酸钛、0.2~3wt.%磺酸类化合物、0.3~1.7wt.%唑类化合物。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，步骤S3中，所述酸化试剂选自盐酸、硝酸、高氯酸、氢氟酸、氢溴酸、硫酸中的任一种或多种。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，所述标准原液中含有过氧化氢、四甲基氢氧化铵、硫酸钛、磺酸类化合物、唑类化合物及水。

4.根据权利要求3所述的一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，所述磺酸类化合物选自对甲基苯磺酸、2-氨基苯磺酸、3-氨基丙烷磺酸、4-氨基-3-羟基-1-萘磺酸、1-氨基萘-2-磺酸、间二氨基苯磺酸钠、5-氨基-4-羟基-1,3-苯二磺酸中的一种或多种。

5.根据权利要求3所述的一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，所述唑类化合物选自咪唑、吡唑、三氮唑、2-甲基咪唑、4-甲基咪唑中的一种或多种。

6.根据权利要求3所述的一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，标准原液及步骤S4中所用的水均为电阻率达到18MΩ的超纯水。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻液中过氧化氢含量的检测方法，其特征在于，所述紫外分光光度法的测定波长为195~1100nm。