[发明专利]一种扇出型封装方法及扇出型封装器件在审
| 申请号: | 202110560300.5 | 申请日: | 2021-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN113380729A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
| 发明(设计)人: | 李尚轩;石佩佩 | 申请(专利权)人: | 南通通富微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/488;H01L23/498 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 黎坚怡 |
| 地址: | 226000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 扇出型 封装 方法 器件 | ||
1.一种扇出型封装方法,其特征在于,包括:
在第一载板上形成线路单元;
在所述线路单元背离所述第一载板一侧形成多个焊球,且所述多个焊球与所述线路单元电连接;
将所述多个焊球与第二载板固定,并去除所述第一载板;
在所述线路单元背离所述焊球一侧设置至少一个芯片,且所有所述芯片的功能面朝向所述线路单元,并与所述线路单元电连接;
在所述线路单元设置有所述芯片一侧形成塑封层,所述塑封层覆盖所述芯片;
去除所述第二载板。
2.根据权利要求1所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述在所述线路单元背离所述第一载板一侧形成多个焊球,且所述多个焊球与所述线路单元电连接的步骤,包括:
在所述线路单元背离所述第一载板一侧形成第一介电层,且所述第一介电层上设置有多个第一开口,所述线路单元具有从所述第一开口中露出的部分;
在每个所述第一开口位置处形成第一导电柱,所述第一导电柱与对应位置处的所述线路单元电连接;
在每个所述第一导电柱上形成焊球。
3.根据权利要求2所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述第一导电柱的高度大于所述第一开口的深度。
4.根据权利要求1所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述在第一载板上形成线路单元的步骤,包括:
在所述第一载板上形成第一绝缘层,所述第一绝缘层上设置有多个第二开口;
在每个所述第二开口内形成第二导电柱;
在所述第一绝缘层背离所述第一载板一侧形成至少一层线路子层;其中,所述第二导电柱和所述线路子层构成所述线路单元。
5.根据权利要求4所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述在所述线路单元背离所述焊球一侧设置至少一个芯片,且所有所述芯片的功能面朝向所述线路单元,并与所述线路单元电连接的步骤,包括:
将所述芯片的功能面朝向所述第二导电柱设置,且所述芯片的功能面上设置有多个第三导电柱,所述第二导电柱与所述第三导电柱一一对应;
使所述第二导电柱与对应位置处的所述第三导电柱焊接固定。
6.根据权利要求5所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述在所述线路单元设置有所述芯片一侧形成塑封层,所述塑封层覆盖所述芯片的步骤之前,包括:
在所述线路单元设置有所述芯片一侧形成底填胶,所述底填胶覆盖所述第三导电柱,且所述芯片的非功能面和至少部分侧面从所述底填胶中露出。
7.根据权利要求6所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述在所述线路单元设置有所述芯片一侧形成塑封层,所述塑封层覆盖所述芯片的步骤,包括:
在所述底填胶远离所述线路单元的一侧形成所述塑封层,所述塑封层覆盖所述底填胶以及所述芯片的所述非功能面。
8.根据权利要求1所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述在第一载板上形成线路单元的步骤,包括:
在所述第一载板上形成多个间隔设置的所述线路单元,且相邻所述线路单元之间相互绝缘。
9.根据权利要求8所述的扇出型封装方法,其特征在于,所述去除所述第二载板的步骤之后,还包括:
切割掉相邻所述线路单元位置处的绝缘结构,以获得多个扇出单体。
10.一种扇出型封装器件,其特征在于,所述扇出型封装器件采用权利要求1-9任一项所述的扇出型封装方法形成。
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