[发明专利]一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机

权利要求书

1.一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，包括外框(2)和夹紧框(7)，其特征在于：所述夹紧框(7)上表面固定连接有滑块框(36)，所述滑块框(36)内滑动连接有滑块(37)，所述夹紧框(7)内设有使晶圆夹紧的夹紧机构，所述外框(2)的顶部固定连接有电机(1)，所述电机(1)的输出轴穿过外框(2)并固定连接有安装轴(5)，所述安装轴(5)的底部穿过并固定连接有斜圆柱(4)，所述安装轴(5)的底部内侧花键连接有弹簧块(22)，所述弹簧块(22)穿过安装轴(5)底面并与滑块(37)固定连接，所述夹紧框(7)上设有使晶圆振动的振动机构；

所述振动机构包括底座(9)和第四弹簧(35)，所述第四弹簧(35)套设在弹簧块(22)表面，且所述第四弹簧(35)位于弹簧块(22)与安装轴(5)内底面之间，所述底座(9)固定安装在外框(2)的内底部，所述底座(9)靠近右侧的内部开设有弹簧槽(11)，所述弹簧槽(11)内部通过第一弹簧(10)滑动安装有抵杆(15)，所述抵杆(15)的顶部固定连接有抵杆头(16)，所述抵杆头(16)在斜圆柱(4)底面接触，所述抵杆(15)靠近中部的表面固定连接有第二固定块(27)，所述第二固定块(27)内滑动连接有横杆(29)，所述横杆(29)左端固定连接有滑杆(23)，所述滑杆(23)与第二固定块(27)之间的横杆(29)表面套设有第二弹簧(25)，所述夹紧框(7)上表面固定连接有圆形滑轨(24)，所述滑杆(23)底部延伸至圆形滑轨(24)内部并与其滑动连接，所述安装轴(5)表面固定连接有偏心轮(6)，所述偏心轮(6)与滑杆(23)接触。

2.根据权利要求1所述的一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，其特征在于：所述夹紧机构包括两个夹紧杆(32)，两个所述夹紧杆(32)滑动连接在夹紧框(7)两侧内部，两个所述夹紧杆(32)的相对面上均固定连接有夹紧块(34)，所述夹紧块(34)与夹紧框(7)内壁之间的夹紧杆(32)外壁套设有第三弹簧(33)。

3.根据权利要求1所述的一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，其特征在于：所述喷气机构包括传动轴(8)和圆环(14)，所述传动轴(8)通过转轴转动连接在底座(9)上表面，所述圆环(14)设置在传动轴(8)内侧，所述圆环(14)下表面通过销轴转动连接有多个弧形块(17)，多个所述弧形块(17)与传动轴(8)内壁之间均连接有弧形拉杆(18)，所述弧形块(17)内为空腔且其上表面开设有多个出气孔(19)，所述弧形块(17)下表面固定安装有进气管(38)，所述底座(9)内设有对进气管(38)输送反应气体的送气装置；所述传动轴(8)外壁设有使出气孔(19)均匀对晶圆表面喷气的转动机构。

4.根据权利要求3所述的一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，其特征在于：所述转动机构包括第一固定块(12)和皮带(13)，所述第一固定块(12)固定安装在外框(2)右侧内壁，所述第一固定块(12)上表面通过轴承转动连接有传动杆(31)，所述传动杆(31)与传动轴(8)之间通过皮带(13)传动连接，所述传动杆(31)上端表面设有轮齿(30)，所述横杆(29)的右端表面开设有齿轮槽(28)，所述齿轮槽(28)与轮齿(30)齿轮连接。

5.根据权利要求3所述的一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，其特征在于：所述弧形块(17)表面设有对刻蚀反应物进行清理的清除装置，所述清除装置包括弧形条(20)，所述弧形条(20)固定连接在弧形块(17)表面，所述弧形条(20)表面设有刷毛(21)。

6.根据权利要求4所述的一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，其特征在于：所述轮齿(30)的高度大于斜圆柱(4)的斜面高度差。

7.根据权利要求1所述的一种可自动清理刻蚀反应物的等离子刻蚀机，其特征在于：所述夹紧框(7)下表面开设有用于气体进入的凹槽。