[发明专利]一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉及叠阵在审
| 申请号: | 202110559225.0 | 申请日: | 2021-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN113300209A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
| 发明(设计)人: | 陈琅;李特;王贞福;于学成 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 史晓丽 |
| 地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 应用于 功率 半导体 光源 芯片 冷却 | ||
1.一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,包括自上而下相互层叠设置的上密封叠片(1)、上冷却叠片(2)、导流叠片(3)、下冷却叠片(4)和下密封叠片(5);
所述下密封叠片(5)上设置相互隔离的第一入水口(6)和第一出水口(7);
所述下冷却叠片(4)上设置相互隔离的第一镂空微结构(8)和第二镂空微结构(9);所述第一镂空微结构(8)的位置对应于第一入水口(6);所述第一镂空微结构(8)内设有由若干个筋板构成的冷却通道(10);所述第二镂空微结构(9)的位置对应于第一出水口(7);
所述导流叠片(3)上设置相互隔离的第二入水口(11)、第三镂空微结构(12)与导流结构;所述第二入水口(11)的位置对应于第一镂空微结构(8);所述导流结构的位置对应于若干个冷却通道(10);
所述上冷却叠片(2)上设有相互隔离的第三入水口(14)、第二出水口(15)、第四镂空微结构(16);所述第三入水口(14)与第二出水口(15)的位置分别对应于第二入水口(11)、第三镂空微结构(12);
所述上密封叠片(1)上设置相互隔离第四入水口(18)与第三出水口(19),其位置分别对应于第三入水口(14)与第二出水口(15);
其特征在于:
所述第四镂空微结构(16)内,且与导流叠片(3)上导流结构相对应的位置设有热量导引片(17);
热量导引片(17)采用铜或金刚石或碳化硅制作,包括N个等距排布的筋条,N个等距排布的细筋条构成了N+1个微形通道,筋条的宽度尺寸和微形通道(23)的宽度尺寸均为0.10mm。
2.根据权利要求1所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:所述导流结构为波浪状的导流槽(13)。
3.根据权利要求2所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:所述热量导引片(17)的长度为3.20mm。
4.根据权利要求3所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:所述第四镂空微结构(16)沿着第三入水口(14)两侧并延伸至第二出水口(15)。
5.根据权利要求4所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:所述第二镂空微结构(9)包括主流通区域(91)、两条相互对称的第一微通道(92)和两条相互对称的第二微通道(93);
所述主流通区域(91)的位置对应于第一出水口(7);
所述第一微通道(92)由主流通区域延伸至第一镂空微结构(8);所述第二微通道(93)由主流通区域(91)延伸至第一微通道(92)边缘,且与第一微通道(91)相隔离;
所述第三镂空微结构(12)与第二镂空微结构(9)完全相同。
6.根据权利要求5所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:位于热量导引片(17)中部区域的筋条长度逐渐减小。
7.根据权利要求所述6所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:若干个冷却通道(10)的宽度由中间区域向两边区域依次递减。
8.根据权利要求1-7任一所述的一种应用于高功率半导体光源芯片的冷却热沉,其特征在于:所述第四入水口(18)与第三出水口(19)的半径相等,所述第一入水口(7)、第二入水口(11)、第三入水口(14)、第一出水口(7)与第二出水口(15)的半径相等,且第四入水口(18)的半径大于第一入水口(7);
所述第四入水口(18)与第三出水口(19)上设有密封圈,且密封圈的内径与第一入水口的直径相同。
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