[发明专利]位移装置

权利要求书

1.一种位移装置，其特征在于，包括：

支撑体；

位移体；

第一导向组件及第二导向组件，设置于所述支撑体与所述位移体之间并分别位于所述位移体的相对两侧；所述第一导向组件包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分可沿X轴方向相对位移，所述第二导向组件包括第三部分和第四部分，所述第三部分和所述第四部分可沿X轴方向相对位移；所述第一导向组件的所述第一部分及所述第二导向组件的所述第三部分分别与所述位移体固定连接，所述第一导向组件的所述第二部分及所述第二导向组件的所述第四部分分别与所述支撑体固定连接；

所述第一导向组件，包括设于所述第一部分并沿X轴方向延伸的第一磁体分布结构，及设于所述第二部分并沿X轴方向延伸的第二磁体分布结构；所述第一磁体分布结构与所述第二磁体分布结构之间相对间隔设置，相互间产生沿Z轴方向排斥的磁浮力以形成第一磁浮间隙；

所述第二导向组件，包括设于所述第三部分并沿X轴方向延伸的第三磁体分布结构，及设于所述第四部分并沿X轴方向延伸的第四磁体分布结构；所述第三磁体分布结构与所述第四磁体分布结构之间相对间隔设置，相互间产生沿Z轴方向排斥的磁浮力以形成第二磁浮间隙，其中所述Z轴方向为所述位移体的重力方向；

至少一驱动组件，包括分别固定设于所述支撑体和所述位移体并沿X轴方向延伸的定子磁性单元和动子磁性单元；其中，所述定子磁性单元和动子磁性单元用于相互磁性作用，以提供对所述位移体的位移的驱动力；

所述第一磁体分布结构包括至少一个第一磁体分布单元，所述第二磁体分布结构包括至少一个第二磁体分布单元，且所述第一磁体分布单元与所述第二磁体分布单元数量相同；

所述第一磁体分布单元和所述第二磁体分布单元均包括三个横置磁体，且所述第一磁体分布单元的所述三个横置磁体和所述第二磁体分布单元的所述三个横置磁体一一对应间隔布置在所述第一磁浮间隙的两侧组成三对横置磁体，所述三对横置磁体包括一对磁化方向相同的中部横置磁体，以及两对分别位于所述中部横置磁体两侧的侧端横置磁体，每对所述侧端横置磁体的磁体磁化方向相反，两对所述侧端横置磁体置于所述Z轴方向上的相同位置且与所述中部横置磁体设于所述Z轴方向上的位置不同，且所述三对横置磁体的每对磁体分别设在所述第一部分和所述第二部分的相对间隔设置的延伸表面上；

所述第一磁体分布单元还包括一个设于两侧所述侧端横置磁体间的H磁体且磁化方向为Y轴方向，所述第二磁体分布单元还包括分别设于所述中部横置磁体和所述侧端横置磁体间，且在所述第二部分的延伸表面上的两个斜向磁体，两个所述斜向磁体的磁化方向分别为第一方向和第二方向，两个所述斜向磁体与所述H磁体相互作用，提供所述位移体在Y轴方向大小相同且方向相反的磁浮力或磁浮力分量，以及在所述Z轴方向排斥的磁浮力或磁浮力分量。

2.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述第二磁体分布结构和第一磁体分布结构相互作用，向所述位移体提供在Y轴方向上大小相同且方向相反的至少一对磁浮力或磁浮力分量，所述第四磁体分布结构向第三磁体分布结构相互作用，向所述位移体提供在Y轴方向上大小相同且方向相反的至少一对磁浮力或磁浮力分量。

3.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述第一磁体分布结构的磁体分布及磁体的磁化方向关于所述Z轴方向呈镜像关系；所述第二磁体分布结构的磁体分布及磁体的磁化方向关于所述Z轴方向呈镜像关系；所述第三磁体分布结构的磁体分布及磁体的磁化方向关于所述Z轴方向呈镜像关系；所述第四磁体分布结构的磁体分布及磁体的磁化方向关于所述Z轴方向呈镜像关系。

4.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述第三磁体分布结构包括至少一个第三磁体分布单元，所述第四磁体分布结构包括至少一个第四磁体分布单元，且所述第三磁体分布单元与所述第四磁体分布单元数量相同；所述第三磁体分布单元与倒置的所述第一磁体分布单元的磁体分布相同，所述第四磁体分布单元与倒置的所述第二磁体分布单元的磁体分布相同。