[发明专利]紫外线照射装置

说明书

本发明提供一种提高起动性的搭载有准分子灯的紫外线照射装置。紫外线照射装置具备多个准分子灯，该多个准分子灯具有封入有包含稀有气体的放电用气体的发光管。多个准分子灯包含以第一封入气体压力封入有放电用气体的第一准分子灯和以低于第一封入气体压力的第二封入气体压力封入有放电用气体的第二准分子灯。第一准分子灯被配置于来自第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。

技术领域

本发明涉及紫外线照射装置，特别涉及搭载有准分子灯的紫外线照射装置。

背景技术

以往，已知有通过对封入发光管内的放电用气体经由石英玻璃等电介质施加电压而使其发光的利用了电介质阻挡放电的灯(以下，称为“准分子灯”)。

准分子灯通过放电用气体的种类或组合来表示特有的发光波长。例如，已知有将作为稀有气体的氩(Ar)、氪(Kr)或氙(Xe)用作放电用气体的准分子灯、或将作为卤素气体的氟(F)、氯(Cl)、碘(I)、溴(Br)与上述稀有气体的混合气体用作放电用气体的准分子灯。例如，在下述专利文献1中记载了通过放电用气体的种类或组合，能够得到峰值波长126nm～308nm的多种光。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-068944号公报

发明所要解决的课题

近年来，搭载有准分子灯的紫外线照射装置的需求不断提高，所使用的场景也扩大。以往，一般认为在预定长时间持续点亮的产业用途中的利用较多，但今后也会更多地考虑到用在反复进行点亮和熄灭的情况。

但是，在准分子灯之中，也存在起动性差的准分子灯，其中存在熄灭期间变长时难以点亮的准分子灯。

发明内容

本发明鉴于上述课题，其目的在于，在搭载有准分子灯的紫外线照射装置中，提高起动性。

本发明的紫外线照射装置，

具备多个准分子灯，该多个准分子灯具有封入有含有稀有气体的放电用气体的发光管，

所述多个准分子灯包括：

以第一封入气体压力封入了所述放电用气体的第一准分子灯；和

以比所述第一封入气体压力低的第二封入气体压力封入所述放电用气体的第二准分子灯，

所述第一准分子灯配置在来自所述第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。

若提高封入在准分子灯的发光管内的放电用气体的封入气体压力，则准分子灯长寿命化。关于该理由，以放电用气体为Kr Cl的情况为例进行说明。

当对封入有放电用气体的发光管施加电压时，在发光管内产生放电，通过因放电而放出的电子，存在于发光管内(放电空间内)的氪气(Kr)、氯气(Cl₂)被激励或被离子化，生成KrCl*(氯化氪激基复合物)。该KrCl*是极其不稳定的化合物，在短时间内分离成Kr和Cl₂，此时产生固有的发光(准分子光)。封入这种放电用气体的准分子灯发出峰值波长为222nm附近的紫外线。

然而，在上述的例子的情况下，通过反复进行放电，高能量化的放电用气体的一部分(特别是Cl)被打入发光管的管壁(真空管)内，其结果，构成放电用气体的原子随着时间经过而减少。由此，生成的KrCl*的量减少，因此，照度逐渐降低。这样的问题虽然在照度降低的速度的趋势上存在差异，但与放电用气体的种类无关是通常准分子灯内在存在的问题。

如上所述，在提高搭载有准分子灯的紫外线照射装置的需求的同时，提高长时间利用紫外线照射装置后的照度维持率而实现长寿命化在当前是重要的要素。鉴于这样的情况，作为提高照度维持率的方法，预先增加成为放电用气体的气体种的原子量，换言之，提高封入气体压力是有效的。