[发明专利]紫外线照射装置

权利要求书

1.一种紫外线照射装置，其特征在于，

具备多个准分子灯，该多个准分子灯具有封入有含有稀有气体的放电用气体的发光管，

所述多个准分子灯包括：

第一准分子灯，以第一封入气体压力封入有所述放电用气体；和

第二准分子灯，以比所述第一封入气体压力低的第二封入气体压力封入所述放电用气体，

所述第一准分子灯配置在来自所述第二准分子灯的出射光的至少一部分能够入射的位置。

2.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述第二封入气体压力与所述第一封入气体压力的压力差被设定为以所述第二封入气体压力为基准的5％以上。

3.根据权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

具备LED元件，

所述LED元件配置为，来自该LED元件的出射光至少能够入射到所述第二准分子灯内。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包含2根以上的所述第一准分子灯。

5.根据权利要求4所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包含所述第一准分子灯的根数以下的根数的所述第二准分子灯。

6.根据权利要求5所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述多个准分子灯包含2根以上的所述第二准分子灯。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的放电用气体，其特征在于，

所述放电用气体在所述稀有气体的基础上还含有卤素气体。

8.根据权利要求7所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述放电用气体为Kr和Cl₂的混合气体。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其特征在于，

所述第一准分子灯和所述第二准分子灯在同一平面上，在与各个所述发光管的管轴不平行的方向上排列，

具备一对电极块，与所述第一准分子灯和所述第二准分子灯的全部的所述发光管的一部分部位接触，且以在与所述管轴平行的方向上分离的状态配置。