[发明专利]一种气浮运输过渡的方法

说明书

本发明涉及一种气浮运输过渡的方法，属于运输方法技术领域，包括以下步骤:设定系统压力，获取高速气浮板的横向间隙、以及高速气浮板和精密气浮板之间的距离值；根据系统压力、薄型柔性物体的厚度、横向间隙、高速气浮板和精密气浮板之间的距离值，获取薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、以及获取薄型柔性物体在精密气浮板上时的气膜厚度；根据薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、薄型柔性物体在精密气浮板上时的气膜厚度，计算高速气浮板和精密气浮板的高度差值；基于高度差值调节高速气浮板和/或精密气浮板的高度。利用不同气浮区域气膜厚度的差异，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。

技术领域

本发明属于运输方法技术领域，具体涉及一种气浮运输过渡的方法。

背景技术

薄型柔性物体，例如晶圆、FPD、LCD等产品在运输和处理过程中，任何与之不必要的物理接触均会增加其损坏的风险并降低产品的合格率，而此问题的主要解决方案就是在运输和处理过程中采用气浮运输。

在以上的气浮运输系统中通常存在精密气浮板和高速气浮板。精密气浮板用作稳定而高精度的支撑物体，并在此区域进行检查、加热、涂布、蚀刻等操作。其余对运输精度要求相对较低的区域为高速气浮板，用于远离处理区域的物体的一般支撑。以AOI设备的气浮运输系统布局为例，可参考专利CN1580875A题名为“传送和约束大型扁平柔性介质的高精度气浮轴承分轴台”，专利CN 106081627A题名为“一种高速气浮板的使用方法”。薄型柔性物体需要在不同气浮区域间安全、稳定的过渡。然而，不同气浮区域的气膜厚度不一致，运输稳定性和被支承物体的变形也不一致。因此需要在其衔接部分采取措施，防止悬浮的被支承物体碰撞下面的气浮运输系统。

目前防止被支承物体在气浮区域衔接位置碰撞的常规过渡解决方案主要有四种。第一种常规方案为通过提高供气压力，使气膜厚度大于被支承物体的最大挠度，以留出足够的余留保证其在衔接位置的安全。但随着气膜厚度的增加，运输的稳定性也随之降低。

如图7，第二种常规方案为在衔接处设置高压气浮块800作压力补偿装置，使被支承物体的大挠度位置被抬高，避免碰撞。

如图8，第三种常规方案为在衔接处的气浮区域设置压力分区900，间接调控被支承物体对应位置的最大挠度，避免碰撞。第四种为通过增加高速气浮板数量以减小被支承物最大挠度。第二、三种方案不但使被支承物体在衔接处受到额外压力的激励，增加振动，压力补偿装置和压力分区还会增加气浮运输系统设备的成本。第四种方案增加气浮运输系统设备的成本。

为了解决以上问题，本发明提供一种气浮运输过渡的方法，利用不同气浮区域的气膜厚度的差异，在无需额外压力补偿装置、不改变气膜厚度、使用最少数量的高速气浮板的情况下，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。

发明内容

针对上述现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种气浮运输过渡的方法,利用不同气浮区域的气膜厚度的差异，在无需额外压力补偿装置、不改变气膜厚度、使用最少数量的高速气浮板的情况下，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。

为了实现上述发明目的，本发明提供的一个技术方案如下：

一种气浮运输过渡的方法,包括以下步骤:步骤S100、选定高速气浮板和精密气浮板，设定系统压力，获取高速气浮板的横向间隙、以及所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值；

步骤S200、根据所述系统压力、待传送的薄型柔性物体的厚度、所述横向间隙、所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值，获取所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、以及获取所述薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度；

步骤S300、根据所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、所述薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度，计算所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值；