[发明专利]具有反射镜分面的马赫-曾德尔干涉仪

说明书

在一些实施方式中，马赫‑曾德尔干涉仪(MZI)包括在芯片中形成的延迟线臂和在芯片中形成的反射镜分面。延迟线臂可以被配置成将光传播到反射镜分面。反射镜分面可以被配置成将由延迟线臂传播到反射镜分面的一定百分比的光反射到延迟线臂。

技术领域

本公开涉及马赫-曾德尔干涉仪(MZI)，并且例如涉及具有反射镜分面的MZI干涉仪。

背景技术

常规延迟线MZI包括延迟线臂和非延迟线臂，其中延迟线臂比非延迟线臂长。典型地，延迟线MZI分离光信号，并且使得光信号的第一部分经由延迟线臂传播，并且光信号的第二部分经由非延迟线臂传播。延迟线MZI然后将光信号的第一部分和光信号的第二部分组合成组合光信号。因为延迟线臂的光路比非延迟线臂的光路长，所以当组合成组合光信号时，光信号的第一部分与光信号的第二部分相比是时间延迟的。

发明内容

在一些实施方式中，MZI包括形成在芯片中的延迟线臂，该延迟线臂被配置为将光传播到形成在芯片中的反射镜分面；并且反射镜分面被配置成将由延迟线臂传播到反射镜分面的一定百分比的光反射到延迟线臂。

在一些实施方式中，MZI包括在芯片中形成的第一反射镜分面；在芯片中形成的第二反射镜分面；在芯片中形成的光传输元件；在芯片中形成的延迟线波导，其连接在光传输元件和第一反射镜分面之间；以及在芯片中形成的非延迟线波导，其连接在光传输元件和第二反射镜分面之间。

在一些实施方式中，光学器件包括:衬底；形成在衬底上的第一马赫-曾德尔干涉仪(MZI)，包括:第一延迟线臂，以及位于第一延迟线臂的端部处的第一反射镜分面；和形成在衬底上的第二MZI，包括:第二延迟线臂，以及位于第二延迟线臂的端部处的第二反射镜分面。

在一些实施方式中，MZI包括第一反射镜分面；第二反射镜分面；延迟线臂，被配置为将光束的第一部分传播到第一反射镜分面；以及非延迟线臂，被配置为将光束的第二部分传播到第二反射镜分面，其中:延迟线臂的长度大于非延迟线臂的长度；第一反射镜分面被配置成将光束的第一部分的一定百分比反射到延迟线臂；并且第二反射镜分面被配置成将光束的第二部分的一定百分比反射到非延迟线臂。

附图说明

图1是图示本文描述的示例MZI的图。

图2是示出图1的示例MZI的一部分的横截面的图。

图3是示出本文描述的反射镜分面的示例沟槽的俯视图。

图4是图示本文描述的示例MZI的图。

图5是示出本文描述的示例光学设备的示意图。

图6A-6C描绘了示出波长和通过本文描述的特定MZI的光传输之间的关系的示例图。

图7A-7D描绘了本文描述的示例光学设备和相关图表。

图8A-8D描绘了本文描述的示例光学设备和相关图表。

具体实施方式

以下示例实现的详细描述参考了附图。不同附图中相同的附图标记可以标识相同或相似的元件。