[发明专利]具有反射镜分面的马赫-曾德尔干涉仪

权利要求书

1.一种马赫-曾德尔干涉仪(MZI)，包括:

形成在芯片中的延迟线臂，其被配置为将光传播到形成在芯片中的反射镜分面；和

该反射镜分面被配置成将由延迟线臂传播到反射镜分面的一定百分比的光反射到延迟线臂。

2.根据权利要求1所述的MZI，其中所述反射镜分面是所述芯片的蚀刻分面。

3.根据权利要求1所述的MZI，其中所述反射镜分面被配置成通过菲涅耳反射来反射所述一定百分比的光。

4.根据权利要求1所述的MZI，其中所述反射镜分面被金属化，以增加在所述反射镜分面处反射的所述一定百分比的光。

5.根据权利要求1所述的MZI，其中所述反射镜分面包括沟槽，

其中所述沟槽的第一表面被配置成反射所述一定百分比的光，并且

其中与第一表面相对的沟槽的第二表面成一定角度，以将穿过沟槽的光反射远离延迟线臂。

6.根据权利要求1所述的MZI，其中所述延迟线臂以螺旋构造定位，并且

其中反射镜分面位于螺旋结构内。

7.根据权利要求1所述的MZI，其中所述延迟线臂被定位成弧形结构，并且

其中反射镜分面位于延迟线臂的端部。

8.一种马赫-曾德尔干涉仪(MZI)，包括:

在芯片中形成的第一反射镜分面；

在芯片中形成的第二反射镜分面；

在芯片中形成的光传输元件；

在芯片中形成的延迟线波导，其连接在光传输元件和第一反射镜分面之间；和

在芯片中形成的非延迟线波导，其连接在光传输元件和第二反射镜分面之间。

9.根据权利要求8所述的MZI，其中所述第一反射镜分面包括穿过所述延迟线波导的沟槽，并且所述第二反射镜分面包括穿过所述非延迟线波导的沟槽。

10.根据权利要求8所述的MZI，其中所述第一反射镜分面被金属化，改善提高所述第一反射镜分面的反射率，并且所述第二反射镜分面未被金属化。

11.根据权利要求8所述的MZI，其中:

非延迟线臂包括功率平衡分光器。

12.根据权利要求8所述的MZI，其中所述延迟线波导或所述非延迟线波导中的至少一个位于所述芯片的边缘。

13.根据权利要求8所述的MZI，其中所述延迟线波导或所述非延迟线波导中的至少一个位于所述芯片的一内部位置。

14.根据权利要求8所述的MZI，其中:

第一反射镜分面具有大约90％的反射率；和

第二反射镜分面具有大约4％的反射率。

15.一种光学装置，包括:

衬底；

形成在衬底上的第一马赫-曾德尔干涉仪(MZI)，包括:

第一延迟线臂，以及

位于第一延迟线臂的端部处的第一反射镜分面；和

形成在衬底上的第二MZI，包括:

第二延迟线臂，以及

位于第二延迟线臂的端部处的第二反射镜分面。

16.根据权利要求15所述的光学设备，其中:

第一反射镜分面位于衬底上的第一内部位置；和

第二反射镜分面位于衬底上的第二内部位置。

17.根据权利要求15所述的光学器件，其中所述第一反射镜分面由穿过所述第一延迟线臂的沟槽形成。