[发明专利]一种自动化单晶硅片倒角装置

权利要求书

1.一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于：包括调心倒角装置（1）、多个硅片存放盒一（2）、运送装置（3）和硅片存放盒二（4），其中：

所述运送装置（3）位于中心，调心倒角装置（1）、硅片存放盒一（2）和硅片存放盒二（4）环形布置于运送装置（3）的周围；

所述调心倒角装置（1）包括调心装置（101）、旋转丝杆（106）、倒角装置（108）和激光测量器（111）；

所述调心装置（101）上开设有多个直径不等的同心梯形圆槽，靠近运送装置（3）的一侧还开设有避让槽；

所述调心装置（101）通过调心支座（102）安装在固定架（103）的底部；

所述旋转丝杆（106）顶部设有承片台（107），底部为安装座（105）；

所述倒角装置（108）通过倒角支座（109）安装在固定台（104）上；

所述激光测量器（111）通过激光测量支座（110）安装在固定台（104）上；

所述运送装置（3）包括运送丝杆（301）和运片台（302）。

2.根据权利要求1所述的一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于：所述安装座（105）内设有旋转驱动电机和真空吸附装置。

3.根据权利要求1所述的一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于：所述硅片存放盒一（2）的数量为3-5个。

4.根据权利要求1所述的一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于：所述固定台（104）安装固定在固定架（103）上，位于调心装置（101）的上方。

5.根据权利要求1所述的一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于：所述运送装置（3）内设有驱动电机和真空吸附装置。

6.根据权利要求1所述的一种自动化单晶硅片倒角装置，其特征在于：所述倒角装置（108）包括砂轮和风机。