[发明专利]晶圆容纳盒清洗设备及晶圆容纳盒清洗方法

权利要求书

1.晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，包括用于盛放清洗晶圆容纳盒(8)的清洗槽(2)和管道部件；

所述清洗槽(2)具有内部设置有鼓泡机(9)的底座(1)，所述清洗槽(2)的槽体内具有与鼓泡机(9)连接的鼓泡管(7)；

所述管道部件包括水泵(11)、回水管(3)、清洗喷头(4)和抽水管(6)，所述抽水管(6)分为两组分别用于支撑所述晶圆容纳盒(8)的本体和盖体，且每组所述抽水管(6)的顶端处于同一水平面，所述抽水管(6)顶部具有防堵结构；

所述清洗喷头(4)设置于集水管(5)顶端，并高于所述晶圆容纳盒(8)的设置高度；

所述水泵(11)用于将清洗液或者气体从抽水管(6)顶部吸入，经回水管(3)从清洗喷头(4)流出后回流到清洗槽(2)内；

所述水泵(11)为文丘里泵，所述文丘里泵与鼓泡管(7)的供气管道连接，文丘里泵的中间具有窄流通截面段，当气体流过窄流通截面段时会加速，窄流通截面段与回水管(3)连通。

2.根据权利要求1所述的晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，所述清洗喷头(4)倾斜设置，并对准位于清洗槽(2)内的所述晶圆容纳盒(8)的顶面。

3.根据权利要求1所述的晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，防堵结构为防堵槽(10)。

4.根据权利要求1所述的晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，每组抽水管(6)呈矩形排列。

5.根据权利要求1所述的晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，所述抽水管(6)还与干燥气体供给管道连接，以用于在清洗液排空后，通过抽水管(6)向晶圆容纳盒(8)喷出气体加快晶圆容纳盒(8)的干燥。

6.根据权利要求1所述的晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，所述抽水管(6)还与清洗液供给管道连接，用于在向清洗槽(2)注入清洗液的过程中喷出清洗液，以对晶圆容纳盒(8)的内壁进行冲洗。

7.根据权利要求1所述的晶圆容纳盒清洗设备，其特征在于，所述回水管(3)还设置有气液分离阀(13)。

8.一种晶圆容纳盒清洗方法，使用权利要求1-7任一项中的晶圆容纳盒清洗设备，包括以下步骤：

S1，将晶圆容纳盒(8)以展开方式放入排空的清洗槽(2)，晶圆容纳盒(8)的本体和盖体分别被两组抽水管(6)所抵靠固定；

S2，通过清洗液通入管向清洗槽(2)内通入清洗液，使清洗液至少淹没晶圆容纳盒(8)；

S3，水泵(11)和鼓泡机(9)同时工作，使得鼓泡机(9)将气泡从鼓泡管(7)喷出，利用水泵(11)对抽水管(6)进行抽水，使得晶圆容纳盒(8)内的清洗液和气体从晶圆容纳盒(8)内抽走，防止气体在晶圆容纳盒(8)内聚集，从而防止晶圆容纳盒(8)浮起；

S4，经过一段时间后，停止水泵(11)和鼓泡机(9)工作，排空清洗槽(2)内的清洗液；

S5，待晶圆容纳盒(8)干燥后取走晶圆容纳盒(8)，完成清洗。

9.根据权利要求8所述的晶圆容纳盒清洗方法，其特征在于，S2步骤中，除了通过清洗液通入管向清洗槽(2)内通入清洗液外，还通过所述抽水管(6)和所述回水管(3)向清洗槽(2)内通入清洗液，以对晶圆容纳盒的内外壁进行冲洗。

10.根据权利要求8所述的晶圆容纳盒清洗方法，其特征在于，通过所述抽水管(6)和所述回水管(3)向清洗槽(2)内通入干燥气体，使晶圆容纳盒(8)干燥。