[发明专利]一种半导体存储产品的老化测试设备及其方法有效
申请号: | 202110527683.6 | 申请日: | 2021-05-14 |
公开(公告)号: | CN113241113B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 李庭育;庄健民;齐元辅 | 申请(专利权)人: | 江苏华存电子科技有限公司 |
主分类号: | G11C29/56 | 分类号: | G11C29/56 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 丁桂红 |
地址: | 226399 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 存储 产品 老化 测试 设备 及其 方法 | ||
1.一种半导体存储产品的老化测试设备,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)的底部固定安装有四个固定脚(2),箱体(1)的一侧铰接有箱门(3),箱门(3)上固定安装有把手(4),箱体(1)的顶部内壁固定安装有加热片(5),箱体(1)的顶部固定安装有电源(6),箱体(1)的两侧内壁均固定安装有固定条(7),两个固定条(7)的一侧均开设有第一滑槽(8),两个第一滑槽(8)内滑动安装有半导体测试基板(9),半导体测试基板(9)的一侧固定安装有插头(13),壳体(1)的一侧内壁固定安装有插座(12),插头(13)与插座(12)相卡装,箱体(1)的一侧开设有安装孔(16),安装孔(16)内固定安装有散热风扇(17),安装孔(16)的顶部内壁与底部内壁均开设有第二滑槽(18),两个第二滑槽(18)内均滑动安装有密封板(19),密封板(19)的底部与第二滑槽(18)的底部内壁均开设有安装槽,两个安装槽内设置有串联机构,箱体(1)内开设有对称的两个空槽(20),两个空槽(20)内均滑动安装有齿条(22)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备,其特征在于,所述串联机构包括第一导电块(25)、第二导电块(26)和两个第一弹簧(27),第一导电块(25)和第二导电块(26)的外侧分别与两个安装槽的内壁滑动连接,两个第一弹簧(27)的一端分别与第一导电块(25)和第二导电块(26)的外侧固定连接,两个第一弹簧(27)的另一端分别与两个安装槽的内壁固定连接,第一导电块(25)、电源(6)、散热风扇(17)和第二导电块(26)通过导线串联。
3.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备,其特征在于,两个第二滑槽(18)的内壁均开设有第一通孔,两个第一通孔分别与两个空槽(20)相通,两个密封板(19)上均开设有螺纹槽,两个螺纹槽内均螺纹安装有螺纹杆(21),两个螺纹杆(21)分别位于两个空槽(20)内的一端均固定安装有齿轮(28),两个齿轮(28)分别与两个齿条(22)啮合。
4.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备,其特征在于,两个空槽(20)的一侧内壁均开设有第二通孔,两个第二通孔内均滑动安装有连接杆(23),两个连接杆(23)的一端分别与两个齿条(22)的一端固定连接,两个连接杆(23)上均套设有第二弹簧(24),第二弹簧(24)的两端分别与空槽(20)的一侧内壁和齿条(22)的一端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备,其特征在于,两个固定条(7)的顶部均开设有滑孔,两个滑孔内均滑动安装有插销(10),半导体测试基板(9)的顶部开设有对称的两个卡槽,两个插销(10)分别与两个卡槽相配合,两个插销(10)上均套设有第三弹簧(11),第三弹簧(11)的两端分别与插销(10)的外侧的固定条(7)的顶部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备,其特征在于,两个第一滑槽(8)内均滑动安装有滑块(14),箱体(1)的一侧内壁开设有对称的两个第三滑槽,两个滑块(14)的外侧分别与两个第三滑槽的内壁滑动连接,两个滑块(14)的外侧均固定连接有第四弹簧(15),两个第四弹簧(15)的一端分别与两个第三滑槽的内壁固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备,其特征在于,两个第二滑槽(18)的内壁均固定安装有轴承,两个轴承分别与两个螺纹杆(21)的外侧固定连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述设备 提出的一种半导体存储产品的老化测试方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:首先将半导体存储产品安装在半导体测试基板(9)的顶部,然后推动半导体测试基板(9)水平移动,两个插销(10)受到半导体测试基板(9)的挤压竖直向上移动,当半导体测试基板(9)移动至一定位置时,插头(13)与插座(12)相卡装,同时两个插销(10)分别通过两个第三弹簧(11)产生的形变力竖直向下移动,通过两个插销(10)分别与两个卡槽相配合的设置,从而两个插销(10)可以对半导体测试基板(9)进行固定定位,防止半导体测试基板(9)松动而降低测试的准确性;
S2:然后关闭箱门(3),箱门(3)挤压两个连接杆(23)水平移动,两个连接杆(23)分别带动两个齿条(22)水平移动,两个齿条(22)分别带动两个齿轮(28)转动,两个齿轮(28)分别带动两个螺纹杆(21)转动,两个螺纹杆(21)分别带动两个密封板(19)相互靠近,进而两个密封板(19)可以关闭安装孔(16),开启加热片(5),半导体测试基板(9)进行测试,从而可以在一段时间内获取半导体芯片的故障率;
S3:当测试完成时,可以通过开启箱门(3),进而两个第二弹簧(24)可以通过形变力分别带动两个齿条(22)复位,两个齿条(22)分别带动两个齿轮(28)转动,两个齿轮(28)分别带动两个螺纹杆(21)转动,两个螺纹杆(21)分别带动两个密封板(19)相互远离,进而两个密封板(19)可以开启安装孔(16),同时当密封板(19)移动至一定位置时,第一导电块(25)与第二导电块(26)接触,进而可以开启散热风扇(17),从而散热风扇(17)可以对箱体(1)内部进行快速散热冷却;
S4:当箱体(1)内部温度下降到一定值时,可以通过拉动两个插销(10)竖直向上移动,进而两个插销(10)分别与两个卡槽分离,通过两个插销(10)分别与两个卡槽相配合的设置,从而两个插销(10)可以解除对半导体测试基板(9)的固定定位,同时两个滑块(14)分别通过两个第四弹簧(15)产生的形变力水平移动,两个滑块(14)带动半导体测试基板(9)水平移动,进而两个滑块(14)可以弹出半导体测试基板(9),从而可以方便取出半导体测试基板(9)和测试的半导体存储产品。
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