[发明专利]具有多层载片结构的电子元件有效
申请号: | 202110525078.5 | 申请日: | 2021-05-14 |
公开(公告)号: | CN113394179B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 黄渊;王建荣;葛飞虎 | 申请(专利权)人: | 南通华达微电子集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/467;H01L23/31 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 多层 结构 电子元件 | ||
1.一种具有多层载片结构的电子元件,具有引线框架载片台+点阵层+芯片的多层连接结构;所述的点阵层是多个间隔排列的有一定高度的麻点点阵结构;点阵层的麻点只与芯片的底部接触;其特征在于:芯片的键合点设置在芯片的上表面,芯片键合点周边具有高纯的硅材料的绝缘边框,绝缘边框通过后期的外延或溅射技术形成;点阵层的材料成分:锡90-97%、银1-3%、铜0.5-8%;点阵的中间部位的麻点中的银成分多于外围部位的麻点,外围麻点中的锡成分多于中间部位的麻点。
2.如权利要求1所述的具有多层载片结构的电子元件,其特征在于:绝缘边框的外周高度大于内周高度。
3.一种电子元件的制作工艺,其特征在于:制作权利要求1所述的具有多层载片结构的电子器件,采用下列顺序的制作工艺:
先在载片台上用筛孔的丝网印刷焊料;接着,采用合适的工艺温度、压力、时间,将点阵层加热后冷却使得焊料凝结;然后,在点阵层上再焊接芯片;
点阵层加热时,控制熔融时间与粘度,使得三种金属成分按比重沉降,保证银、铜、锡各位置比例不同;底层银较多,中间铜较多,上层锡较多。
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