[发明专利]用于消除全息显示器中的强烈伪影的微镜像素设计

权利要求书

1.一种空间光调制器，包括：

半导体衬底；以及

多个微镜，其设置在所述半导体衬底上以调制光，

其中每个微镜具有中心和周边；

其中每个微镜包括设置在所述半导体衬底上的反射材料层；并且

其中在每个微镜中，所述反射材料层：

从所述中心朝向所述周边水平地延伸预定距离；并且

在所述预定距离之后，朝向所述半导体衬底向下倾斜。

2.如权利要求1所述的空间光调制器，其中所述反射材料层相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。

3.如权利要求1所述的空间光调制器，还包括设置在所述半导体衬底上的所述反射材料的环形层，其中所述环形层围绕所述层。

4.如权利要求3所述的空间光调制器，其中所述层比所述环形层更宽。

5.如权利要求3所述的空间光调制器，其中所述层比所述环形层更厚。

6.如权利要求3所述的空间光调制器，其中，所述层比所述环形层更宽且更厚。

7.如权利要求2所述的空间光调制器，还包括：

反射材料的环形层，其设置于所述半导体衬底上；

其中所述环形层围绕所述层并且比所述层更窄且更薄；以及

其中所述环形层的内边缘和外边缘相对于所述半导体衬底的平面以锐角朝向所述半导体衬底向下倾斜。

8.如权利要求1所述的空间光调制器，还包括设置在所述半导体基底上的所述反射材料的第一环形层和第二环形层，其中所述第一环形层围绕所述层，并且其中所述第二环形层围绕所述第一环形层。

9.如权利要求8所述的空间光调制器，其中所述层的外边缘以及所述第一和第二环形层的内边缘和外边缘朝向所述半导体衬底竖直地向下倾斜。

10.如权利要求8所述的空间光调制器，其中所述层以及所述第一和第二环形层具有相同的厚度。