[发明专利]集成超声波换能器的微机电麦克风及电子设备

权利要求书

1.集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，包括一声学腔体，所述声学腔体上设有声学通孔，所述声学腔体中设置：

一超声波换能器，用于产生超声波信号；

一声学换能器，用于捕获声波信号；

一集成电路芯片，与所述超声波换能器和所述声学换能器连接。

2.如权利要求1所述的集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，所述集成电路芯片获取所述超声波换能器发射所述超声波信号的第一时刻与所述声学换能器接收的超声波反射信号的第二时刻，依据所述第一时刻和所述第二时刻获得时间差，依据所述时间差计算获得外部目标物体距离所述微机电麦克风的距离。

3.如权利要求2所述的集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，所述集成电路芯片依据所述超声波换能器发射的所述超声波信号和所述声学换能器接收的所述超声波反射信号，获取所述外部目标物体的反射率，将所述反射率与一参考阈值进行比较，依据比较结果产生一触发信号。

4.如权利要求1所述的集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，所述超声波换能器包括压电陶瓷薄膜。

5.如权利要求1所述的集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，包括一基板以及与所述基板形成声学腔体的盖体。

6.如权利要求5所述的集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，所述超声波换能器，所述声学换能器和所述集成电路芯片位于所述基板上。

7.如权利要求5所述的集成超声波换能器的微机电麦克风，其特征在于，所述声学通孔位于所述基板或所述盖体上。

8.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1至7任意一项所述的集成超声波换能器的微机电麦克风。